[發明專利]有機材料蒸鍍設備和方法

有效

• 申請號: 201611110521.8
• 申請日: 2016-12-02
• 公開（公告）號: CN106654058B
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 陳黎暄
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種有機材料蒸鍍設備，其特征在于，包括：加熱裝置(10)、及設于加熱裝置(10)上的蒸發裝置(20)；

所述蒸發裝置(20)包括蒸發器皿(21)、及導熱球(22)；所述蒸發器皿(21)用于承載有機材料(50)，所述導熱球(22)用于分散在有機材料(50)中使有機材料(50)受熱均勻；

所述導熱球(22)的粒徑為1μm-100μm；

所述導熱球(22)為核殼結構，包括內核體(221)、及包覆內核體(221)的導熱層(222)；

所述導熱層(222)為碳納米管層、石墨烯層、或陶瓷層；

所述內核體(221)為聚合物微球、或SiO₂微球；

所述蒸發器皿(21)為鎢舟。

2.一種有機材料蒸鍍設備，其特征在于，包括：加熱裝置(10)、及設于加熱裝置(10)上的蒸發裝置(20)；

所述蒸發裝置(20)包括蒸發器皿(21)、及導熱球(22)；所述蒸發器皿(21)用于承載有機材料(50)，所述導熱球(22)用于分散在有機材料(50)中使有機材料(50)受熱均勻；

所述導熱球(22)的粒徑為1μm-100μm；

所述導熱球(22)為核殼結構，包括內核體(221)、及包覆內核體(221)的導熱層(222)；

所述導熱層(222)為金屬層，所述內核體(221)為SiO₂微球，所述導熱球(22)由熔融的金屬材料均勻地包覆SiO₂微球而制得；

所述蒸發器皿(21)為鎢舟。

3.一種有機材料蒸鍍方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供有機材料蒸鍍設備、及有機材料(50)；所述有機材料蒸鍍設備包括：加熱裝置(10)、及設于加熱裝置(10)上的蒸發裝置(20)；所述蒸發裝置(20)包括蒸發器皿(21)、及導熱球(22)；將有機材料(50)放置于蒸發器皿(21)中，并向有機材料(50)中摻雜導熱球(22)，使得所述導熱球(22)均勻分散于有機材料(50)中；

步驟2、提供基板(40)，控制加熱裝置(10)產生熱能，控制蒸發裝置(20)通過所述加熱裝置(10)產生的熱能蒸發有機材料(50)，使所述有機材料(50)在基板(40)上形成有機材料膜層；

所述導熱球(22)的粒徑為1μm-100μm；

所述導熱球(22)為核殼結構，包括內核體(221)、及包覆內核體(221)的導熱層(222)；

所述導熱層(222)為碳納米管層、石墨烯層、或陶瓷層，所述內核體(221)為聚合物微球、或SiO₂微球；或者，

所述導熱層(222)為金屬層，所述內核體(221)為SiO₂微球，所述導熱球(22)由熔融的金屬材料均勻地包覆SiO₂微球而制得。

4.如權利要求3所述的有機材料蒸鍍方法，其特征在于，所述步驟2中，所述導熱球(22)的熔點高于所述加熱裝置(10)的加熱溫度。

5.如權利要求3所述的有機材料蒸鍍方法，其特征在于，所述步驟2還包括提供掩膜板(30)，有機材料(50)穿過掩膜板(30)在基板(40)上形成有機材料膜層。