[發明專利]檢測方法及其應用的檢測設備

在審

• 申請號: 201611108938.0
• 申請日: 2016-12-06
• 公開（公告）號: CN106597700A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 簡重光
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所44237
• 代理人: 陽開亮

1.一種檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

檢測顯示面板中是否具有缺陷位置；

在檢測獲得所述顯示面板上的缺陷位置后，利用第一離子檢修裝置發出的第一束聚焦離子束對所述顯示面板上的缺陷位置進行切割，以將所述缺陷位置處的缺陷進行剝離并觀察缺陷形貌；

然后，應用修復裝置對剝離缺陷之后的缺陷位置進行修復處理；

其中，用于檢測缺陷位置的檢測裝置、第一離子檢修裝置和修復裝置順序地安裝在同一條生產線上。

2.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測裝置為光學檢測機器，所述光學檢測機器通過光學攝像頭掃描整塊所述顯示面板以采集圖像，并與光學檢測機器的數據庫中存儲的合格參數進行比較，以確定所述顯示面板上的缺陷位置以及觀察缺陷形貌。

3.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測裝置為第二離子檢修裝置，利用第二離子檢修裝置所發出的第二束聚焦離子束對顯示面板進行掃描顯像，以確定所述玻璃面板上的缺陷位置以及觀察缺陷形貌。

4.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，在對所述缺陷位置的缺陷進行剝離的過程中，同時利用掃描電子顯微鏡對進行剝離的缺陷位置進行觀察，以實時判斷剝離結果是否符合后續的修復要求。

5.如權利要求1至4中任一項所述的檢測方法，其特征在于，在檢測顯示面板是否具有缺陷位置之前，對所述顯示面板進行薄膜鍍膜處理以獲得薄膜鍍膜層，其中，所述缺陷位置處的缺陷為薄膜鍍膜層的缺陷。

6.如權利要求5所述的檢測方法，其特征在于，在完成應用修復裝置對剝離缺陷之后的缺陷位置進行修復處理之后，再將所述顯示面板進行后續的黃光制程工藝。

7.一種檢測設備，其特征在于，包括：

用于檢測顯示面板的缺陷位置的檢測裝置；

用于切割所述顯示面板的缺陷位置的第一離子檢修裝置；

用于對顯示面板的切割完成后的缺陷位置進行修復的修復裝置；

所述檢測裝置、所述第一離子檢修裝置及所述修復裝置順序地安裝在同一條生產線上。

8.如權利要求7所述的檢測設備，其特征在于，

所述檢測裝置為光學檢測機器；或者，

所述檢測裝置為第二離子檢修裝置。

9.如權利要求7所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備還包括用于對顯示面板的缺陷位置的剝離過程進行觀察的掃描電子顯微鏡，所述掃描電子顯微鏡與所述第一離子檢修裝置并排設置。

10.如權利要求7所述的檢測設備，其特征在于，所述檢測設備還包括薄膜鍍膜裝置，所述薄膜鍍膜裝置設置在所述檢測裝置的上游位置。