[發明專利]一種閥頭、平行誤差自動補償裝置及電鏡

有效

• 申請號: 201611104965.0
• 申請日: 2016-12-05
• 公開（公告）號: CN106595439B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 孟祥良;孫占峰
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: G01B5/24
• 分類號: G01B5/24;F16J15/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 周美華

一種閥頭、平行誤差自動補償裝置及電鏡，閥頭包括活動件以及活動件支撐裝置，該活動件具有與固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，所述活動件背向所述固定件的一側設有第一容納槽；活動件支撐裝置具有適于嵌入所述第一容納槽的球面，所述球面與所述第一容納槽的槽底保持點接觸，并且與所述第一容納槽的槽壁保持線接觸，用于在背對所述固定件的方向上支撐所述活動件相對所述固定件浮動。本發明提供的閥頭，加工難度低，調節靈敏度高，能夠消除兩個平面各個方向上的平行度誤差，從而使兩個密封平面充分貼合，具有該閥頭的平行誤差自動補償裝置，及具有該補償裝置的電鏡能夠保證密封的重復度。

技術領域

本發明涉及誤差自動補償技術領域，更具體地涉及一種閥頭、具有該閥頭的平行誤差自動補償裝置以及電鏡。

背景技術

掃描電鏡是利用聚焦電子束在樣品表面進行逐行掃描以得到二次電子圖像或背散射電子圖像的電子光學儀器，電子束由電子槍發射出來到樣品表面的路徑，我們稱之為光路，光路的中間稱之為光軸，電子束由電子槍發出經過鏡筒最后達到樣品室的樣品上，在實際使用過程中，樣品的更換頻率比較高，而場發射電子槍屬于長期工作制的電子槍，電子槍的電流一旦加載，沒有特殊情況下是始終保持加熱狀態的，工作狀態下的電子槍需要很高的真空度，一旦真空度下降會對電子槍造成無法修復的損傷，所以要想保證在更換樣品的時候保持鏡筒內的高真空狀態，必須在換樣品的時候將樣品室與鏡筒的高真空部分隔離開來，完成該部分功能的裝置叫鏡筒隔斷閥。一般電鏡的鏡筒隔斷閥都配有自動控制模式，鏡筒隔斷閥在使用過程中不斷的開啟關閉，對密封的重復度要求很高，這就要求在設計該隔斷閥時必須要盡可能的消除各種誤差，以使兩個密封面能夠保證平行，從而來保證每次的密封性能。

現有技術中存在用于調節密封面的平行度誤差的裝置，例如中國專利文獻CN202305504U公開了一種用于真空環境中直觸式探測物料表面參數的窗式裝置，包括一種調節活動密封蓋與密封托板的平行度的調節機構，以確保密封托板與密封窗內側真空外殼壁在受壓情況下，兩個密封面的平行度，該調節機構包括設置于密封托板下表面的萬向球坑，以及設于萬向球坑內的萬向球頭，萬向球頭設于直線滑桿端部，偏心輪經連桿驅動直線軸承內的直線滑桿做直線往復運動，滑桿端部的萬向球頭頂入萬向球坑，調節兩個密封面的平行度。該現有技術應用于精密儀器的密封面平行度調節過程中，還存在以下缺陷：1.在精密儀器的微小零部件上進行球面加工，加工難度高；2.球坑與球面的面接觸摩擦阻力大，密封面的調整所需推動力大，造成密封面調整的靈敏度低。

發明內容

因此，本發明要解決的技術問題在于克服現有技術中閥頭的加工難度高、調節靈敏度低的缺陷，從而提供一種靈敏度高且便于加工的閥頭。

進一步提供一種具有上述閥頭的平行誤差自動補償裝置。

進一步提供一種具有上述平行誤差自動補償裝置的電鏡。

本發明采用的技術方案如下：

一種閥頭，包括：活動件，具有與固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，所述活動件背向所述固定件的一側設有第一容納槽；活動件支撐裝置，具有適于嵌入所述第一容納槽的球面，所述球面與所述第一容納槽的槽底保持點接觸，并且與所述第一容納槽的槽壁保持線接觸，用于在背對所述固定件的方向上支撐所述活動件相對所述固定件浮動。

所述第一容納槽為圓柱形凹槽。

所述活動件支撐裝置包括嵌入所述第一容納槽的支撐球以及用于支撐所述支撐球的支撐座，所述支撐座上成型有適于容納所述支撐球的第二容納槽，所述第一容納槽與所述第二容納槽的軸向深度之和小于所述支撐球的直徑。