[發明專利]一種閥頭、平行誤差自動補償裝置及電鏡

有效

• 申請號: 201611104965.0
• 申請日: 2016-12-05
• 公開（公告）號: CN106595439B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 孟祥良;孫占峰
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: G01B5/24
• 分類號: G01B5/24;F16J15/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 周美華

1.一種閥頭，其特征在于，包括：

活動件(2)，具有與固定件(1)的第一密封平面(11)配合的第二密封平面(21)，所述活動件(2)背向所述固定件(1)的一側設有第一容納槽(23)；

活動件支撐裝置(3)，具有適于嵌入所述第一容納槽(23)的球面，所述球面與所述第一容納槽(23)的槽底保持點接觸，并且與所述第一容納槽(23)的槽壁保持線接觸，用于在背對所述固定件(1)的方向上支撐所述活動件(2)相對所述固定件(1)浮動；

還包括在所述活動件(2)背對所述固定件(1)一側施加彈性力的彈性偏壓件(5)，通過所述彈性偏壓件(5)的彈性力能夠使得所述活動件(2)相對所述固定件(1)實現彈性浮動。

2.根據權利要求1所述的一種閥頭，其特征在于，所述第一容納槽(23)為圓柱形凹槽。

3.根據權利要求1或2所述的一種閥頭，其特征在于，所述活動件支撐裝置(3)包括嵌入所述第一容納槽(23)的支撐球(31)以及用于支撐所述支撐球(31)的支撐座(32)，所述支撐座(32)上成型有適于容納所述支撐球(31)的第二容納槽(33)，所述第一容納槽(23)與所述第二容納槽(33)的軸向深度之和小于所述支撐球(31)的直徑。

4.根據權利要求3所述的一種閥頭，其特征在于，還包括活動件承載件(4)，具有容納所述活動件(2)的安裝孔(41)，所述活動件(2)還包括連接于所述第二密封平面(21)背向所述固定件(1)的周向面，所述周向面在所述活動件(2)的軸向方向上至少部分為球面，所述球面沿所述軸向方向的兩端邊緣所在平面位于所述球面的球心的在該軸向方向的相反側；所述安裝孔(41)具有與所述球面相適配的圓柱面，以使在所述活動件(2)的浮動過程中，所述圓柱面與所述球面一直保持線接觸。

5.根據權利要求4所述的閥頭，其特征在于，所述活動件(2)呈軸向上下對稱的球臺狀。

6.根據權利要求4所述的閥頭，其特征在于，還包括設置于所述活動件(2)和活動件承載件(4)上的軸向限位結構，所述軸向限位結構防止所述活動件(2)在朝向所述固定件(1)一側從所述安裝孔(41)中脫出，并對所述活動件(2)相對所述固定件(1)的浮動角度進行限制。

7.根據權利要求6所述的閥頭，其特征在于，所述軸向限位結構包括設于所述活動件(2)的周向面上的、位于所述球面遠離所述固定件(1)一側的徑向凸臺(22)，以及設于所述活動件承載件(4)的圓柱面的徑向凹臺，所述徑向凸臺(22)伸入到所述徑向凹臺內。

8.根據權利要求4所述的閥頭，其特征在于，所述活動件承載件(4)還包括設于所述安裝孔(41)下方的安裝腔(42)，所述活動件支撐裝置(3)設于所述安裝腔(42)內。

9.根據權利要求8所述的閥頭，其特征在于，所述支撐座(32)的遠離所述支撐球(31)的一端與所述安裝腔(42)連接，所述彈性偏壓件(5)為套設于所述支撐座(32)外側、并且一端抵住所述活動件(2)靠近所述支撐球(31)的端面，另一端抵住所述支撐座(32)或者所述安裝腔(42)內壁的彈性壓簧。

10.一種平行誤差自動補償裝置，其特征在于，包括

固定件(1)，具有第一密封平面(11)；

權利要求1-9中任一項所述的閥頭；以及

彈性密封件(6)，設于所述第一密封平面(11)與所述閥頭的第二密封平面(21)之間。

11.根據權利要求10所述的平行誤差自動補償裝置，其特征在于，所述彈性密封件(6)為彈性密封圈；所述第一密封平面(11)和/或所述第二密封平面(21)上設有用于對所述彈性密封圈進行限位的密封圈定位槽。

12.一種電鏡，其特征在于，包括權利要求10或11所述的平行誤差自動補償裝置，所述固定件(1)為用于電鏡的鏡筒，所述鏡筒的端部具有所述第一密封平面(11)；所述閥頭為用于將樣品室與鏡筒的高真空部分隔離開的鏡筒隔斷閥的閥頭。