[發明專利]一種超導薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 201611101237.4 | 申請日： | 2016-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN108149202A | 公開（公告）日： | 2018-06-12 |
| 發明（設計）人： | 房毅 | 申請（專利權）人： | 山東元盛坤超導材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 264200 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體羽 超導薄膜 狀物 大功率激光束 靶材表面 基底表面 激光器 受熱 熔蝕 制備 薄膜 聚焦 制造 | ||
【權利要求書】：
1.一種超導薄膜的制備方法，其特征在于：使用激光器產生的大功率激光束聚焦并作用于靶材表面，使其表面熔蝕，并形成等離子體羽狀物，這些等離子體羽狀物向受熱基底表面轉移，最后形成薄膜。
2.根據權利要求1所述一種超導薄膜的制備方法，其特征在于：所述激光器為BrillantB系列：即插即用型3倍頻(355nm)，4倍頻(266nm)結構激光器。
3.根據權利要求1所述一種超導薄膜的制備方法，其特征在于：激光器作用于靶材表面，使其表面熔蝕的過程是在真空或無氧環境中進行的。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于山東元盛坤超導材料科技有限公司，未經山東元盛坤超導材料科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201611101237.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種Mo-Si-X-C復相陶瓷涂層及制備方法
- 下一篇：靶材組件的制造方法
- 同類專利
- 專利分類
