[發明專利]激光裝置

有效

• 申請號: 201611094239.5
• 申請日: 2016-12-02
• 公開（公告）號: CN106848811B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 瀧川宏;西尾明彥
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: H01S3/04
• 分類號: H01S3/04;H01S5/024
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

一種能夠可靠地防止結露的激光裝置。在激光裝置中，在激光振蕩中，向激光裝置的內部供給的冷卻水的溫度被控制為第一規定溫度范圍內，并且，持續進行除濕使得維持(激光裝置的內部的空氣的露點)+(第一規定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關系。根據激光裝置的內部的空氣的濕度和溫度，通過計算部求出該空氣的露點。

技術領域

本發明涉及一種激光裝置。

背景技術

由于激光裝置內部的溫度差或濕度等，有時在激光裝置的內部發生結露。當發生結露時，可能成為發生電短路、或者引起部件的污染或腐蝕的原因。

提出了以在激光裝置或其它一般的電子設備中防止結露為目的的各種技術(參照日本特開2001-326410號公報、日本特開昭61-079285號公報、日本特開2003-060268號公報、日本特開2012-024778號公報、日本特開平03-252199號公報)。

發明內容

尋求一種能夠可靠地防止結露的激光裝置。

根據本申請的第一發明，提供一種激光裝置，該激光裝置具備激光振蕩器以及向所述激光振蕩器提供驅動電流的電源部，該激光裝置的特征在于，構成為從該激光裝置的外部的冷卻水供給裝置供給冷卻水以對該激光裝置的內部的發熱部件進行冷卻，所述激光裝置具備：殼體，其具備將從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內部的空氣侵入流量抑制為規定的值以下的密封度；除濕器，其對所述激光裝置的內部的空氣進行除濕；濕度檢測器，其檢測所述激光裝置的內部的空氣的濕度；第一溫度檢測器，其檢測所述激光裝置的內部的空氣的溫度；第二溫度檢測器，其檢測從所述激光裝置的外部供給的冷卻水的溫度；計算部，其根據所述濕度檢測器和所述第一溫度檢測器的檢測結果，來計算所述激光裝置的內部的空氣的露點；判定部，其根據所述第二溫度檢測器的檢測結果以及由所述計算部計算出的所述露點，判定是否滿足流入開始條件或者振蕩開始條件，該流入開始條件是開始向所述激光裝置的內部流通所述冷卻水的條件，該振蕩開始條件是從所述電源部向所述激光振蕩器提供驅動電流來在所述激光振蕩器中開始激光振蕩的條件；以及控制部，其按照所述判定部的判定結果，對設置于從所述冷卻水供給裝置供給的冷卻水的配管的開閉閥的開閉、或者從所述電源部向所述激光振蕩器的驅動電力的供給進行控制，所述控制部構成為：在所述判定部將由所述計算部計算出的所述露點與由所述第二溫度檢測器檢測出的冷卻水溫度進行比較后判定為滿足了(露點)+(第一規定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關系以及(激光振蕩時的冷卻水溫度的下限容許溫度)≤(冷卻水溫度)≤(激光振蕩時的冷卻水溫度的上限容許溫度)的關系這兩方的關系的時間點，所述控制部打開設置于所述配管的所述開閉閥來開始向所述激光裝置的內部流通冷卻水，之后向所述激光振蕩器提供驅動電流來開始激光振蕩，在激光振蕩中，所述冷卻水供給裝置構成為持續供給被控制為第一規定溫度范圍內的冷卻水，該第一規定溫度范圍是從所述激光振蕩時的冷卻水溫度的下限容許溫度到所述激光振蕩時的冷卻水溫度的上限容許溫度的范圍，并且，所述除濕器構成為持續進行除濕以維持(露點)+(第一規定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關系。

根據本申請的第二發明，特征在于，所述除濕器具有超過根據將從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內部的空氣侵入流量抑制為規定的值以下的殼體的密封度以及所述激光裝置的容許環境條件而假定出的、從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內部侵入的每單位時間的最大水分量的除濕能力。

根據本申請的第三發明，特征在于，所述除濕器構成為在從所述冷卻水供給裝置向所述激光裝置的內部供給冷卻水的期間內持續除濕。

根據本申請的第四發明，特征在于，所述除濕器被控制為使所述激光裝置的內部的空氣的露點進入比所述第一規定溫度范圍低溫的第二規定溫度范圍內，在所述露點進入所述第二規定溫度范圍內之后，所述除濕器被控制為使所述露點不脫離所述第二規定溫度范圍內。