[發(fā)明專利]激光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611094239.5
• 申請日: 2016-12-02
• 公開（公告）號: CN106848811B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 瀧川宏;西尾明彥
• 申請（專利權(quán)）人: 發(fā)那科株式會社
• 主分類號: H01S3/04
• 分類號: H01S3/04;H01S5/024
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種激光裝置，具備激光振蕩器以及向所述激光振蕩器提供驅(qū)動電流的電源部，該激光裝置的特征在于，構(gòu)成為從該激光裝置的外部的冷卻水供給裝置供給冷卻水以對該激光裝置的內(nèi)部的發(fā)熱部件進行冷卻，

所述激光裝置具備：

殼體，其具備將從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內(nèi)部的空氣侵入流量抑制為規(guī)定的值以下的密封度；

除濕器，其對所述激光裝置的內(nèi)部的空氣進行除濕；

濕度檢測器，其檢測所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的濕度；

第一溫度檢測器，其檢測所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度；

第二溫度檢測器，其檢測從所述激光裝置的外部供給的冷卻水的溫度；

計算部，其根據(jù)所述濕度檢測器和所述第一溫度檢測器的檢測結(jié)果，來計算所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的露點；

判定部，其根據(jù)所述第二溫度檢測器的檢測結(jié)果以及由所述計算部計算出的所述露點，判定是否滿足流入開始條件或者振蕩開始條件，該流入開始條件是開始向所述激光裝置的內(nèi)部流通所述冷卻水的條件，該振蕩開始條件是從所述電源部向所述激光振蕩器提供驅(qū)動電流來在所述激光振蕩器中開始激光振蕩的條件；以及

控制部，其按照所述判定部的判定結(jié)果，對設(shè)置于從所述冷卻水供給裝置供給的冷卻水的配管的開閉閥的開閉、或者從所述電源部向所述激光振蕩器的驅(qū)動電力的供給進行控制，

所述控制部構(gòu)成為：在所述判定部將由所述計算部計算出的所述露點與由所述第二溫度檢測器檢測出的冷卻水溫度進行比較后判定為滿足了(露點)+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系以及(激光振蕩時的冷卻水溫度的下限容許溫度)≤(冷卻水溫度)≤(激光振蕩時的冷卻水溫度的上限容許溫度)的關(guān)系這兩方的關(guān)系的時間點，所述控制部打開設(shè)置于所述配管的所述開閉閥來開始向所述激光裝置的內(nèi)部流通冷卻水，之后向所述激光振蕩器提供驅(qū)動電流來開始激光振蕩，

在激光振蕩中，所述冷卻水供給裝置構(gòu)成為持續(xù)供給被控制為第一規(guī)定溫度范圍內(nèi)的冷卻水，該第一規(guī)定溫度范圍是從所述激光振蕩時的冷卻水溫度的下限容許溫度到所述激光振蕩時的冷卻水溫度的上限容許溫度的范圍，并且，所述除濕器構(gòu)成為持續(xù)進行除濕以維持(露點)+(第一規(guī)定溫度差)≤(冷卻水溫度)的關(guān)系，

所述激光裝置還具備對所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度進行調(diào)整的空氣溫度調(diào)節(jié)器，

基于來自所述控制部的指令，通過所述空氣溫度調(diào)節(jié)器進行控制，使得由所述第一溫度檢測器檢測的所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度進入第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)，該第三規(guī)定溫度范圍具有與所述激光振蕩時的冷卻水溫度的下限容許溫度大致同溫的下限值、或者比所述激光振蕩時的冷卻水溫度的下限容許溫度高的下限值，

在所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度進入所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)之后，通過所述空氣溫度調(diào)節(jié)器進行控制，使得所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度不脫離所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)，

通過所述空氣溫度調(diào)節(jié)器將所述激光裝置的內(nèi)部的空氣的溫度控制為所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上，

所述激光裝置具備檢測所述激光裝置的外部溫度或所述殼體的溫度的第三溫度檢測器，

所述第三規(guī)定溫度范圍被設(shè)定為隨時間變化的條件，所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度被設(shè)定為所述激光振蕩時的冷卻水溫度的下限容許溫度與第二規(guī)定溫度差相加而得到的溫度以及由所述第三溫度檢測器檢測出的溫度減去第三規(guī)定溫度差而得到的溫度中的較高一方的溫度，

所述激光裝置的內(nèi)部的空氣溫度被控制為所述第三規(guī)定溫度范圍內(nèi)或所述第三規(guī)定溫度范圍的下限溫度以上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，

所述除濕器具有超過根據(jù)將從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內(nèi)部的空氣侵入流量抑制為規(guī)定的值以下的殼體的密封度以及所述激光裝置的容許環(huán)境條件而假定出的、從所述激光裝置的外部向所述激光裝置的內(nèi)部侵入的每單位時間的最大水分量的除濕能力。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光裝置，其特征在于，

所述除濕器構(gòu)成為在從所述冷卻水供給裝置向所述激光裝置的內(nèi)部供給冷卻水的期間內(nèi)持續(xù)除濕。