[發明專利]化學機械拋光機及用于其的拋光組件

在審

• 申請號: 201611092859.5
• 申請日: 2016-12-01
• 公開（公告）號: CN106737055A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 路新春;李昆;趙德文;雒建斌;溫詩鑄;許振杰;沈攀;王同慶;郭振宇;裴召輝
• 申請（專利權）人: 天津華海清科機電科技有限公司;清華大學
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B37/34
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 黃德海

技術領域

本發明涉及平坦化加工技術領域，更具體地，涉及一種化學機械拋光機及用于其的拋光組件。

背景技術

相關技術中的化學機械拋光機，通常設有一個拋光頭，通過拋光頭的平移在拋光工位和裝載工位之間切換。拋光頭在執行裝卸晶圓時，拋光盤只能閑置，加上晶圓的裝卸與傳送耗時較長，化學拋光機的整體工作效率較低。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本發明提出了一種用于化學機械拋光機的拋光組件，所述拋光組件中一個拋光頭組件進行拋光時，另一個拋光頭組件可以執行裝卸晶圓，兩個拋光頭組件可以交替拋光，從而可以持續不間斷工作，進而可以提高工作效率。

本發明還提出了一種具有上述拋光組件的化學機械拋光機。

根據本發明實施例的用于化學機械拋光機的拋光組件，包括：下支架、上支架、驅動轉塔和兩個拋光頭組件，所述下支架上設有工作臺和拋光盤；所述上支架架設在所述下支架上；所述驅動轉塔懸掛在所述上支架上且所述驅動轉塔的至少一部分相對于所述下支架可樞轉；用于裝卸晶圓和夾持晶圓進行拋光的兩個拋光頭組件，兩個所述拋光組件分別設在所述驅動轉塔上，以在所述驅動轉塔的樞轉下在與所述工作臺位置對應的裝卸位置和與所述拋光盤位置對應的拋光位置之間可移動，其中，當兩個拋光頭組件中的其中一個位于裝卸位置時，兩個所述拋光頭組件中的其中另一個位于所述拋光位置。

根據本發明實施例的用于化學機械拋光機的拋光組件，一個拋光頭組件進行拋光時，另一個拋光頭組件可以執行裝卸晶圓，兩個拋光頭組件可以交替拋光，從而可以持續不間斷工作，進而可以提高工作效率。

另外，根據本發明上述實施例的用于化學機械拋光機的拋光組件還可以具有如下附加的技術特征：

根據本發明的一些實施例，所述驅動轉塔包括：轉塔軸，所述轉塔軸的上端與所述上支架可樞轉地相連，所述轉塔軸沿豎直方向由上向下延伸；轉塔平臺，所述轉塔平臺與所述轉塔軸的下端相連，兩個所述拋光頭組件設在所述轉塔平臺上且位于所述轉塔軸的兩側；轉塔驅動器，所述轉塔驅動器安裝在所述上支架上且與所述轉塔軸相連以驅動所述轉塔軸帶動所述轉塔平臺樞轉。

根據本發明的一些實施例，所述轉塔組件還包括：轉塔變速器，所述轉塔驅動器通過所述轉塔變速器驅動所述轉塔軸樞轉。

可選地，所述上支架包括：頂板，所述頂板沿水平方向延伸且與所述下支架間隔開設置，所述轉塔軸的上端可樞轉地設在所述頂板上；兩個支撐腿，兩個支撐腿的上端分別與所述頂板的兩端相連，兩個所述支撐腿的下端分別與所述下支架相連。

可選地，所述工作臺和所述拋光盤的分布方向與所述頂板的延伸方向垂直。

根據本發明的一些實施例，所述轉塔平臺上設有通孔，每個所述拋光頭組件包括：拋光驅動器，所述拋光頭驅動器安裝在所述轉塔平臺上；拋光頭，所述拋光頭位于所述轉塔平臺的下方，所述拋光驅動器的輸出軸穿過所述通孔與所述拋光頭相連，以驅動所述拋光頭轉動。

可選地，每個所述拋光頭組件還包括：拋光平移單元，所述拋光平移單元設在所述轉塔平臺上且與所述拋光驅動器相連以驅動所述拋光驅動器移動。

根據本發明的一些實施例，所述拋光組件還包括：拋光液輸送器，所述拋光液輸送器設在所述下支架上且其一端延伸向所述拋光盤以向所述拋光盤上輸送拋光液。

根據本發明的一些實施例，所述拋光組件還包括：拋光墊，所述拋光墊設在所述拋光盤上；修整器，所述修整器可樞轉地設在所述下支架上以修整所述拋光墊的位置。

根據本發明實施例的化學機械拋光機，包括根據本發明上述實施例的拋光組件。

根據本發明實施例的化學機械拋光機，通過設置根據本發明上述實施例的拋光組件，在一個拋光頭組件進行拋光時，另一個拋光頭組件可以執行裝卸晶圓，兩個拋光頭組件可以交替拋光，從而可以持續不間斷工作，提高工作效率。

本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

圖1是根據本發明實施例的用于化學機械拋光機的拋光組件的立體圖；

圖2是根據本發明實施例的用于化學機械拋光機的拋光組件的正視圖；

圖3是根據本發明實施例的用于化學機械拋光機的拋光組件在一種狀態下的俯視示意圖；

圖4是根據本發明實施例的用于化學機械拋光機的拋光組件在另一種狀態下的俯視示意圖。

附圖標記：

100：拋光組件；200：晶圓；