[發(fā)明專利]化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)及用于其的拋光組件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611092859.5
• 申請(qǐng)日: 2016-12-01
• 公開（公告）號(hào): CN106737055A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 路新春;李昆;趙德文;雒建斌;溫詩鑄;許振杰;沈攀;王同慶;郭振宇;裴召輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津華海清科機(jī)電科技有限公司;清華大學(xué)
• 主分類號(hào): B24B27/00
• 分類號(hào): B24B27/00;B24B37/34
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11201
• 代理人: 黃德海

1.一種用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，包括：

下支架，所述下支架上設(shè)有工作臺(tái)和拋光盤；

上支架，所述上支架架設(shè)在所述下支架上；

驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)塔，所述驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)塔懸掛在所述上支架上且所述驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)塔的至少一部分相對(duì)于所述下支架可樞轉(zhuǎn)；

用于裝卸晶圓和夾持晶圓進(jìn)行拋光的兩個(gè)拋光頭組件，兩個(gè)所述拋光組件分別設(shè)在所述驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)塔上，以在所述驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)塔的樞轉(zhuǎn)下在與所述工作臺(tái)位置對(duì)應(yīng)的裝卸位置和與所述拋光盤位置對(duì)應(yīng)的拋光位置之間可移動(dòng)，其中，當(dāng)兩個(gè)拋光頭組件中的其中一個(gè)位于裝卸位置時(shí)，兩個(gè)所述拋光頭組件中的其中另一個(gè)位于所述拋光位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)塔包括：

轉(zhuǎn)塔軸，所述轉(zhuǎn)塔軸的上端與所述上支架可樞轉(zhuǎn)地相連，所述轉(zhuǎn)塔軸沿豎直方向由上向下延伸；

轉(zhuǎn)塔平臺(tái)，所述轉(zhuǎn)塔平臺(tái)與所述轉(zhuǎn)塔軸的下端相連，兩個(gè)所述拋光頭組件設(shè)在所述轉(zhuǎn)塔平臺(tái)上且位于所述轉(zhuǎn)塔軸的兩側(cè)；

轉(zhuǎn)塔驅(qū)動(dòng)器，所述轉(zhuǎn)塔驅(qū)動(dòng)器安裝在所述上支架上且與所述轉(zhuǎn)塔軸相連以驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)塔軸帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)塔平臺(tái)樞轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，所述轉(zhuǎn)塔組件還包括：

轉(zhuǎn)塔變速器，所述轉(zhuǎn)塔驅(qū)動(dòng)器通過所述轉(zhuǎn)塔變速器驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)塔軸樞轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，所述上支架包括：

頂板，所述頂板沿水平方向延伸且與所述下支架間隔開設(shè)置，所述轉(zhuǎn)塔軸的上端可樞轉(zhuǎn)地設(shè)在所述頂板上；

兩個(gè)支撐腿，兩個(gè)支撐腿的上端分別與所述頂板的兩端相連，兩個(gè)所述支撐腿的下端分別與所述下支架相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，所述工作臺(tái)和所述拋光盤的分布方向與所述頂板的延伸方向垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，所述轉(zhuǎn)塔平臺(tái)上設(shè)有通孔，每個(gè)所述拋光頭組件包括：

拋光驅(qū)動(dòng)器，所述拋光頭驅(qū)動(dòng)器安裝在所述轉(zhuǎn)塔平臺(tái)上；

拋光頭，所述拋光頭位于所述轉(zhuǎn)塔平臺(tái)的下方，所述拋光驅(qū)動(dòng)器的輸出軸穿過所述通孔與所述拋光頭相連，以驅(qū)動(dòng)所述拋光頭轉(zhuǎn)動(dòng)。

7.據(jù)權(quán)利要求6所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，每個(gè)所述拋光頭組件還包括：

拋光平移單元，所述拋光平移單元設(shè)在所述轉(zhuǎn)塔平臺(tái)上且與所述拋光驅(qū)動(dòng)器相連以驅(qū)動(dòng)所述拋光驅(qū)動(dòng)器移動(dòng)。

8.根據(jù)利要求1所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，還包括：

拋光液輸送器，所述拋光液輸送器設(shè)在所述下支架上且其一端延伸向所述拋光盤以向所述拋光盤上輸送拋光液。

9.根據(jù)利要求1所述的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光組件，其特征在于，還包括：

拋光墊，所述拋光墊設(shè)在所述拋光盤上；

修整器，所述修整器可樞轉(zhuǎn)地設(shè)在所述下支架上以修整所述拋光墊的位置。

10.一種化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)，其特征在于，包括根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的拋光組件。