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[發明專利]低接觸電阻型GaN基器件及其制作方法有效

專利信息
申請號: 201611087793.0 申請日: 2016-12-01
公開(公告)號: CN106449737B 公開(公告)日: 2019-06-21
發明(設計)人: 楊凌;康慨;周小偉;馬曉華;郝躍 申請(專利權)人: 西安電子科技大學
主分類號: H01L29/45 分類號: H01L29/45;H01L21/28;H01L21/336
代理公司: 陜西電子工業專利中心 61205 代理人: 王品華;朱紅星
地址: 710071 陜*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 接觸 電阻 gan 器件 及其 制作方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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