[發(fā)明專利]研磨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611076656.7 | 申請日： | 2016-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN106994649B | 公開（公告）日： | 2021-03-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 邱曉明;田篠文照;介川直哉 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B24B53/017 | 分類號： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 裝置 | ||
1.一種研磨裝置，該研磨裝置具有：
卡盤工作臺，其在保持面上對板狀工件進行保持；
研磨單元，在該研磨單元中安裝有對該卡盤工作臺所保持的板狀工件進行研磨的研磨工具，并且該研磨單元具有使該研磨工具旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)單元，該研磨單元使該研磨工具的研磨面與板狀工件接觸而對板狀工件進行研磨；
研磨進給單元，其使該研磨單元在接近和遠離該卡盤工作臺的方向上移動；
修整機構(gòu)，其對該研磨面進行修整；以及
修整進給單元，其對該研磨單元和該修整機構(gòu)相對地與該研磨面平行地進行修整進給，
其中，
該修整機構(gòu)具有與該研磨面接觸的修整部和配設(shè)有該修整部的基座，
該研磨裝置具有：
彈性波檢測傳感器，其對當(dāng)該研磨單元使該研磨工具旋轉(zhuǎn)并且該研磨進給單元使該研磨單元在與該卡盤工作臺接近的方向上連續(xù)移動而對該研磨單元進行研磨進給從而該研磨面與該修整部的上表面接觸時所產(chǎn)生的彈性波進行檢測；
放大器，其將該彈性波檢測傳感器檢測出的輸出信號變換成輸出電壓；以及
控制部，當(dāng)對該研磨單元進行研磨進給從而該研磨面與該修整部接觸并且從該放大器輸出的輸出電壓達到用于彈性波檢測的閾值時，該控制部使由該研磨進給單元實現(xiàn)的該研磨單元的移動停止，
通過該修整進給單元對通過該控制部的控制而停止了研磨進給的該研磨單元與該修整機構(gòu)相對地進行修整進給并對該研磨面進行修整。
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