[發明專利]薄膜形成裝置及使用其制造顯示設備的方法

在審

• 申請號: 201611076642.5
• 申請日: 2016-11-29
• 公開（公告）號: CN107164733A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 羅興烈;金東昱;薛在完;鄭成鎬
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司11204
• 代理人: 王達佐,劉錚

相關申請的交叉引用

于2016年3月7日提交至韓國知識產權局的且題為“薄膜形成裝置及使用其制造顯示設備的方法”的第10-2016-0027199號韓國專利申請通過引用以其整體并入本文。

技術領域

本公開涉及薄膜形成裝置及使用該薄膜形成裝置制造顯示設備的方法。

背景技術

隨著多媒體技術的發展，顯示設備的重要性穩步增長。因此，諸如液晶顯示器(LCD)、有機發光二極管(OLED)顯示器等的多種顯示設備已得到發展并且變得普遍。

可通過將多種薄膜沉積在襯底上來制造顯示設備。存在通過將用于形成待沉積于襯底上的薄膜的源材料蒸發而在襯底上形成薄膜的方法。

發明內容

根據本公開的示例性實施方式，制造顯示設備的方法包括：

制備包括爐缸和前散熱器的薄膜形成裝置，爐缸存儲用于形成薄膜的源材料，前散熱器布置在爐缸上并且包括反射板，其中，反射板包括具有第一反射率的第一表面和具有第二反射率的第二表面，第二反射率與第一反射率不同；以及

通過蒸發薄膜形成裝置的源材料，在襯底上形成薄膜。第一反射率可大于第二反射率。

第一表面和第二表面可由不同材料形成。

第一反射板可由一種材料形成。

第一反射板還可具有反射鏡涂層，該反射鏡涂層形成在第一表面上。

第二表面的粗糙度可大于第一表面的粗糙度。

第一反射率可為90％或更高。

第二反射率可為10％或更低。

第一表面可包括鏡面反射表面，以及第二表面可包括漫反射表面。

薄膜形成裝置還可包括連接至爐缸的噴嘴，其中，第一反射板包括孔，噴嘴插入孔中。

薄膜形成裝置還可包括與第一反射板重疊的蓋板。

從爐缸釋放的熱量中的至少一些可被第一表面反射，以及穿透第一反射板并且被蓋板反射的熱量中的至少一些可被第二表面吸收。

前散熱器還可包括第二反射板，該第二反射板包括具有第三反射率的第一表面和具有第四反射率的第二表面，該第四反射率與第三反射率不同。

第三反射率可大于第四反射率。

第三反射率可與第一反射率相同。

第三反射率可與第一反射率不同。

薄膜形成裝置還可包括側散熱器，該側散熱器布置成與爐缸的側部相鄰，其中，側散熱器的第一表面具有第一反射率。

附圖說明

通過參照附圖詳細描述示例性實施方式，特征將變得對本領域的技術人員顯而易見，在附圖中：

圖1示出了根據本公開示例性實施方式的薄膜形成裝置的示意性剖視圖。

圖2示出了顯示根據圖1的示例性實施方式的薄膜形成裝置的元件中的一些之間的關系的立體圖。

圖3示出了沿圖2的線I-I’截取的剖視圖。

圖4示出了根據圖1的示例性實施方式的薄膜形成裝置的前散熱器的分解立體圖。

圖5示出了根據圖1的示例性實施方式的薄膜形成裝置中的熱量流動的概念性視圖。

圖6示出了根據本公開另一示例性實施方式的薄膜形成裝置的前散熱器的分解立體圖。

圖7示出了顯示根據圖6的示例性實施方式的薄膜形成裝置中的熱量流動的概念性視圖。

圖8示出了根據本公開另一示例性實施方式的薄膜形成裝置的剖視圖。

具體實施方式

現將在下文中參照附圖更全面地描述示例性實施方式；然而，這些示例性實施方式可通過不同形式實施且不應該被理解為受限于本文中所陳述的實施方式。相反，這些實施方式被提供以使得本公開將是周全和完整的，并且將充分地向本領域技術人員傳達示例性實現方式。

為了說明的清晰，在附圖中，層和區域的尺寸可能被夸大。還應理解的是，當層或元件被稱為在另一層或襯底“上”時，其可直接在該另一層或襯底上，或者也可存在介于中間的層。另外，應理解的是，當層被稱為在另一層“下”時，其可直接在該另一層下，以及也可存在一個或多個介于中間的層。此外，還應理解的是，當層被稱為在兩個層“之間”時，其可以是這兩個層之間唯一的層，或也可存在一個或多個介于中間的層。全文中，相同的附圖標記表示相同的元件。

被用于表示元件在另一元件上、或位于不同層或一個層上的用語“在…上”包括兩種情況：元件直接位于另一元件或層上的情況；以及元件經由另一層或又一元件而位于另一元件上的情況。