[發明專利]一種線柵單元及其保護裝置

有效

• 申請號: 201611073797.3
• 申請日: 2016-11-29
• 公開（公告）號: CN108121101B
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 熊金磊
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G02B5/30
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種線柵單元的保護裝置，其特征在于，包括框架、框架擋光條、密封件、氣路系統以及多個線柵單元；所述線柵單元包括線柵、第一線柵支撐件、第二線柵支撐件以及線柵壓緊片；所述線柵設置在第一線柵支撐件和第二線柵支撐件上，所述第一線柵支撐件和所述第二線柵支撐件分別設置在所述線柵的刻度面的對邊的兩側，所述線柵的刻度面面向所述第一線柵支撐件、第二線柵支撐件，并且通過固定在所述第一線柵支撐件和所述第二線柵支撐件上的線柵壓緊片固定所述線柵；多個所述線柵單元一字型排列設置在所述框架上，每個所述線柵單元的第一線柵支撐件和所述第二線柵支撐件均固定在所述框架上；所述框架擋光條位于所述線柵單元之間的拼接縫下方并設置在所述框架上；所述密封件設置在所述框架上并與所述框架、所述框架擋光條及所述線柵單元形成整體腔室；所述氣路系統埋設在所述框架內部，與所述整體腔室相連通；所述拼接縫的寬度為相鄰兩個線柵單元之間的有效透光區域沿拼接方向的間距寬度。

2.根據權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，每個所述線柵單元的一端通過設置在所述框架上的定位銷定位，與所述一端相對的另一端通過設置在所述框架上的框架壓緊片壓緊在所述框架上，在所述框架上，位于所述定位銷兩側，分別設有固定所述線柵單元的緊固件。

3.根據權利要求2所述的保護裝置，其特征在于，每個線柵單元對應設有兩片所述框架壓緊片。

4.根據權利要求2所述的保護裝置，其特征在于，所述框架壓緊片采用柔性材料制備，或所述框架壓緊片為柔性結構。

5.根據權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述線柵單元一端通過設置在所述框架上的定位銷定位所述第一線柵支撐件，通過設置在第一線柵支撐件和第二線柵支撐件上的壓緊釘壓緊所述線柵單元在所述框架上，所述壓緊釘分布的中心與所述線柵的重心在線柵刻度面上的投影重合，所述第二線柵支撐件上，設有與所述定位銷位置對應的用于撥動所述線柵單元的撥桿。

6.根據權利要求5所述的保護裝置，其特征在于，所述壓緊釘包括螺釘和套設在所述螺釘上的彈簧，所述螺釘限位所述彈簧，所述彈簧壓緊所述線柵單元，所述螺釘裝設在所述框架上，通過控制所述螺釘的旋入深度來控制所述彈簧對所述線柵單元的壓緊力。

7.根據權利要求6所述的保護裝置，其特征在于，所述螺釘上可套設擋板，所述擋板可防止所述彈簧脫落。

8.根據權利要求5所述的保護裝置，其特征在于，每個所述線柵單元對應的所述壓緊釘設置不少于三個。

9.根據權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述氣路系統包括埋設在所述框架內的匯總出氣道、出氣支道和進氣氣道，氣體依次經過所述進氣氣道、整體腔室、出氣支道和匯總出氣道。

10.根據權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述線柵單元還包括單元擋光條，所述單元擋光條設置于所述第一線柵支撐件和第二線柵支撐件上。

11.根據權利要求10所述的保護裝置，其特征在于，所述線柵壓緊片與所述單元擋光條可合為一體。

12.根據權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述線柵壓緊片采用柔性材料制備，或所述線柵壓緊片為柔性結構。

13.根據權利要求1所述的保護裝置，其特征在于，所述線柵單元還包括兩個連接條，兩個所述連接條連接所述第一線柵支撐件和所述第二線柵支撐件；所述連接條與所述線柵不接觸，且所述連接條與所述線柵的垂向間隙不大于0.3mm，所述連接條位于所述線柵的正投影范圍內。

14.根據權利要求13所述的保護裝置，其特征在于，所述連接條的外邊緣與所述線柵外邊緣齊平。