[發明專利]采用聚焦離子束的電路跟蹤

有效

• 申請號: 201611060195.4
• 申請日: 2014-04-23
• 公開（公告）號: CN106842001B
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發明（設計）人: 克里斯·帕夫洛維奇;亞歷山大·索金;邁克爾·W·法納夫;亞歷山大·克里茨米爾;肯·G·拉加里克
• 申請（專利權）人: 泰科英賽科技有限公司
• 主分類號: G01R31/303
• 分類號: G01R31/303;H01L21/66
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 董科

1.一種方法，用于追蹤在一樣本上電路的互連，該方法包括：

a.施加一外部偏壓在所述電路的一第一節點；

b.將所述樣本暴露于一聚焦離子束下；

c.使用一聚焦離子束和一電子探測器，捕獲一所述樣本的至少一部分的圖像；

其特征在于，步驟c中采集到的所述圖像顯示了所述電路的一第二部分，該第二部分相對于所述圖像中的其余部分呈現高對比度，所述第一節點和所述第二部分通過在所述樣本中的一個共同的路徑互相連接。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟a和b之前移除至少一層所述樣本以暴露所述樣本中的所述電路元件。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，移除至少一層所述樣本的步驟和步驟a和b是迭代地重復的。

4.一種方法，用于追蹤在一樣本上的電路的互連，該方法包括：

a.連接所述電路的一第一節點和所述電路的一第二節點；

b.施加一個外部偏壓到所述第一節點；

c.使用一聚焦離子束和一電子探測器，捕獲一所述樣本至少一部分的圖像；

d.判定所述電路中的哪個元件在所述圖像中以高對比度顯示；

其特征在于，在步驟a之前，所述第一節點和所述第二節點不是通過所述樣本互相連接的。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，通過使用圖像疊加技術，步驟c中的圖像被組合為至少一個合并的圖像。

6.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述電路的數字表示從圖像中獲取。

7.根據權利要求4所述的方法，還包括通過使用所述圖像中顯示的至少一個所述元件作為所述第二節點，并通過所述樣本使用一個未連接至所述元件的節點作為所述第一節點，來重復步驟a到d。

8.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述聚焦離子束來自于一個鎵離子源。

9.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，步驟a到步驟d被重復多次，包括使用在所述電路中的不同節點，和包括比較捕獲的圖像的步驟，此步驟被判定所述樣本上的哪個節點與的哪個元件連接。

10.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，步驟a通過使用所述樣本的外部材料，短路所述第一節點和所述第二節點來完成。

11.根據權利要求10所述的方法，其特征在于，所述步驟a通過沉淀介電材料和金屬來完成。

12.一種在一樣本中互連電路的獲取的數字表示，所述獲取的數字表示從至少一個樣本圖像中獲取，所述至少一個樣本在一外部偏壓被施加到樣本的互連的電路的一部分上時，使用一聚焦離子束和一電子探測器，從而被一聚焦離子束捕獲，其中，檢測器識別部分的樣本的特征在于，具有從所述樣本中接收的次要電子的不同濃度。

13.一種系統，用于在一樣本中追蹤電路的互連，系統包括：

一聚焦離子束設備，用于使一聚焦離子束射向一樣本；

一探測器，用于檢測聚焦離子束設備運行期間來自樣本的粒子；

一偏壓施加器，用于在聚焦離子束設備運行時，施加偏壓至樣本中電路的至少一個特定的第一部分；以及一真空室，用于把聚焦離子束設備，探測器，以及至少在運行期間的樣本，儲藏在內；

其中，檢測器識別部分的樣本的特征在于，具有從所述樣本中接收的次要電子的不同濃度。

14.根據權利要求13所述的系統，其特征在于，所述聚焦離子束是來自于一個鎵離子源。