[發明專利]垂直式探針裝置的探針座

有效

• 申請號: 201611046634.6
• 申請日: 2016-11-23
• 公開（公告）號: CN107064575B
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 陳宗毅;陳世欣
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

本發明涉及一種垂直式探針裝置的探針座，包含有一下導板、一固定在所述下導板上的中導板、至少一固定在所述中導板上的上導板，以及至少一補強板，所述至少一補強板固定設置于所述中導板的至少一貫穿槽內，所述下導板具有位于所述中導板的貫穿槽下方的多個下探針孔，以供多個探針分別穿設于所述多個下探針孔且穿過所述中導板的貫穿槽，所述至少一上導板具有位于所述中導板的貫穿槽上方的多個上探針孔，以供所述多個探針分別穿設于所述多個上探針孔，所述至少一補強板設有多個中探針孔，以供所述多個探針分別穿設于所述多個中探針孔；由此，所述探針座具有良好的剛性，可避免彎曲變形的問題。

技術領域

本發明與用于探針卡的探針裝置有關，特別是指一種垂直式探針裝置的探針座。

背景技術

半導體芯片進行測試時，測試機通過探針卡與待測物(Device Under Test；簡稱DUT)電性連接，并通過訊號傳輸及訊號分析獲得待測物的測試結果。習用的探針卡通常由電路板及探針裝置組成，或者還包括設于電路板及探針裝置之間的空間轉換器。習用的垂直式探針裝置通常包括探針座，以及多個概呈直立的穿設于探針座的垂直式探針(vertical probe)，各個垂直式探針，例如彈簧針(pogo pin)，對應待測物的電性接點排列，用來同時點觸各個電性接點。

上述垂直式探針裝置的探針座通常包括依序相疊的上、中、下導板，上、下導板分別設有多個探針孔，中導板設于上、下導板之間且呈中空狀，即，中導板中央設有貫穿槽，上、下導板的探針孔隔著貫穿槽而相對，各個垂直式探針穿設于上導板的探針孔，并穿設于下導板的探針孔，且穿過中導板的貫穿槽，各個垂直式探針具有凸伸出下導板的底端，用來點觸待測物的電性接點。

當待測物的電性接點相當密集時，探針裝置需對應設置密集分布的大量探針，甚至，若所述探針裝置是一種能同時對多個待測物進行點測的平行測試探針裝置(Multi-DUTprobe head)時，則會設置更多探針。然而，習用探針座的中導板因呈中空狀而使探針座的剛性較差，且提供了上、下導板彈性變形的空間，因此，當設于探針座的大量探針同時進行點測時，其反作用力容易造成探針座彎曲變形。尤其，對于平行測試探針裝置(Multi-DUTprobe head)的探針座而言，各個導板的面積大，且中導板的貫穿槽范圍也大，又因設有更多探針而會受到更大的反作用力，因此更容易產生探針座彎曲變形的問題。

發明內容

針對上述問題，本發明的主要目的在于提供一種垂直式探針裝置的探針座，其具有較佳的剛性，因此可避免彎曲變形的問題。

為達到上述目的，本發明所提供的一種垂直式探針裝置的探針座，其特征在于包含有：一下導板、一中導板、至少一上導板以及至少一補強板。所述下導板具有多個下探針孔，以供多個探針分別穿設于所述多個下探針孔；所述中導板固定在所述下導板上，且所述中導板具有至少一貫穿槽，所述多個下探針孔位于所述中導板的貫穿槽下方，以供所述多個探針穿過所述中導板的貫穿槽；所述至少一上導板固定在所述中導板上，且所述至少一上導板具有多個上探針孔，所述多個上探針孔位于所述中導板的貫穿槽上方，以供所述多個探針分別穿設于所述多個上探針孔；所述至少一補強板固定設置于所述至少一貫穿槽內，且所述至少一補強板設有多個中探針孔，以供所述多個探針分別穿設于所述多個中探針孔。

其中，所述中導板的貫穿槽的至少一邊緣具有一呈凸出狀的補強塊。

所述中導板的貫穿槽具有相對的二個所述補強塊。

所述中導板的補強塊通過至少一螺絲固定于所述下導板。

所述探針座具有多個檢測區，各個所述檢測區分別對應一待測物，所述補強塊位于相鄰的二個所述檢測區之間。

所述至少一補強板的形狀與所述至少一貫穿槽的形狀互補。

所述至少一補強板通過至少一螺絲固定于所述下導板。