[發明專利]垂直式探針裝置的探針座有效
| 申請號： | 201611046634.6 | 申請日： | 2016-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN107064575B | 公開（公告）日： | 2020-09-11 |
| 發明（設計）人： | 陳宗毅;陳世欣 | 申請（專利權）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245 | 代理人： | 關暢;王燕秋 |
| 地址： | 中國臺灣新*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 垂直 探針 裝置 | ||
1.一種垂直式探針裝置的探針座，其特征在于包含有：
一下導板，具有多個下探針孔，以供多個探針分別穿設于所述多個下探針孔；
一中導板，固定在所述下導板上，且所述中導板具有至少一貫穿槽，所述多個下探針孔位于所述中導板的貫穿槽下方，以供所述多個探針穿過所述中導板的貫穿槽；
至少一上導板，固定在所述中導板上，且所述至少一上導板具有多個上探針孔，所述多個上探針孔位于所述中導板的貫穿槽上方，以供所述多個探針分別穿設于所述多個上探針孔；
至少一補強板，固定設置于所述至少一貫穿槽內，且所述至少一補強板設有多個中探針孔，以供所述多個探針分別穿設于所述多個中探針孔；
所述至少一補強板通過至少一螺絲固定于所述下導板；
所述下導板具有多個伸入所述中導板的貫穿槽內的凸塊，所述至少一補強板通過所述至少一螺絲固定于所述多個凸塊。
2.如權利要求1所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：所述中導板的貫穿槽的至少一邊緣具有一呈凸出狀的補強塊。
3.如權利要求2所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：所述中導板的貫穿槽具有相對的二個所述補強塊。
4.如權利要求2所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：所述中導板的補強塊通過至少一螺絲固定于所述下導板。
5.如權利要求2所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：具有多個檢測區，各個所述檢測區分別對應一待測物，所述補強塊位于相鄰的二個所述檢測區之間。
6.如權利要求1所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：所述至少一補強板的形狀與所述至少一貫穿槽的形狀互補。
7.如權利要求1所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：所述多個凸塊中包含有分別位于所述中導板的貫穿槽的二相對邊緣的二邊緣凸塊。
8.如權利要求1所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：所述中導板的貫穿槽的二相對邊緣分別具有一呈凸出狀的補強塊，且所述多個凸塊中包含有一位于所述二補強塊之間的中央凸塊；所述探針座具有多個檢測區，各個所述檢測區分別對應一待測物，所述二補強塊及所述中央凸塊位于相鄰的二個所述檢測區之間。
9.如權利要求1所述的垂直式探針裝置的探針座，其特征在于：具有多個探針安裝區域，各個所述探針安裝區域具有一所述上導板、一所述補強板以及一所述貫穿槽，且所述多個探針安裝區域共享同一所述下導板及同一所述中導板。
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