[發明專利]顯示裝置和方法

在審

• 申請號: 201611044640.8
• 申請日: 2016-11-24
• 公開（公告）號: CN106876301A
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 田中雅人
• 申請（專利權）人: 阿自倍爾株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司31300
• 代理人: 肖華

技術領域

本發明涉及從控制具備多個控制回路的裝置的通用調節器接收與作為顯示對象的控制回路相關的信息并予以顯示的顯示裝置。

背景技術

為了操縱具備多個控制回路的裝置(多回路系統)，有時使用通用調節器(溫度調節器)(參照專利文獻1)。圖14、圖15示出了多回路系統的調節器(溫度調節器)作為對象的加熱裝置的例子。

在圖14的例子中，加熱裝置由如下部件構成：加熱處理爐100，其用于對被加熱物進行加熱；多個加熱器H1～H4，其設置于加熱處理爐100的內部；多個溫度傳感器S1～S4，其測定分別被加熱器H1～H4加熱的加熱處理爐100內的溫度控制區Z1～Z4的溫度；調節器101，其計算輸出到加熱器H1～H4的操作量MV1～MV4；以及電力調整器102-1～102-4，其將與從調節器101輸出的操作量MV1～MV4相應的電力供給到加熱器H1～H4。調節器101為使溫度傳感器S1～S4測定出的溫度PV1～PV4與溫度設定值SP1～SP4一致而算出操作量MV1～MV4。在該圖14所示的加熱裝置中，形成有4個控制溫度PV1～PV4的控制回路。

另外，在圖15所示的加熱裝置的例子中，將硅晶片204搬入到氧化擴散爐200內的石英管203的內部。溫度傳感器S1～S4測定分別被加熱器H1～H4加熱的溫度控制區Z1～Z4的溫度PV1～PV4。調節器201為使溫度傳感器S1～S4測定出的溫度PV1～PV4與溫度設定值SP1～SP4一致而算出操作量MV1～MV4并輸出到加熱器電源202。加熱器電源202將與操作量MV1～MV4相應的電力供給到加熱器H1～H4。這樣，通過加熱被導入到氧化擴散爐200內的石英管203內的氧和硅晶片204，在硅晶片204的表面形成氧化膜。在該圖15所示的加熱裝置中，也形成有4個控制溫度PV1～PV4的控制回路。

在調節器101、201，使用調節器101、201來進行例如半導體的制造的制造裝置中，為了向操作者傳送信息，使用液晶顯示器等顯示裝置(參照專利文獻2)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012-048370號公報

專利文獻2：日本特開2001-154786號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

在小型的制造裝置中安裝顯示裝置的情況下，使用小型的顯示裝置。然而，在操縱圖14、圖15中說明的那樣的多回路系統的情況下，在小型的顯示裝置中，畫面的大小不一定足夠，存在難以觀察顯示而對便利性造成障礙這樣的問題點。

特別是，如圖16所示，在與通用調節器300一體化、并且按通用目的來設計畫面的規格的小型的顯示裝置301中，高效地進行反映了各個控制對象(按圖16的No.1～No.4的回路編號來區分的控制對象)所固有的性質的顯示是有極限的。在這樣用于多回路系統的信息顯示的小型的顯示裝置中，要求改善便利性。

本發明是為了解決上述課題而完成的，其目的在于，在以通用的形式使用于多回路系統中的顯示裝置中，改善對于操作者而言的便利性。

解決技術問題的技術手段

本發明的顯示裝置的特征在于，具備：顯示元件，其用于圖像顯示；回路信息顯示控制單元，其使與作為控制對象的裝置的多個控制回路中的、作為顯示對象的控制回路相關的顯示對象的信息顯示在所述顯示元件上；時間測量單元，其在僅放大顯示1個回路的信息時，測量顯示同一控制回路信息的持續時間；顯示信息取得單元，其從信息輸出裝置定期地取得全部控制回路的信息；以及顯示變更單元，其在所述時間測量單元測量的持續時間達到規定持續時間時，從所述顯示信息取得單元取得接下來應該顯示的控制回路的最新的信息并轉送給所述回路信息顯示控制單元，并切換所述顯示元件的畫面，以便僅放大顯示該控制回路的信息。

另外，在本發明的顯示裝置的一種結構例中，其特征在于，還具備：顯示信息存儲單元，其存儲在僅放大顯示1個回路的信息時所述回路信息顯示控制單元使顯示元件顯示的信息；以及指示單元，其在所述時間測量單元測量的持續時間達到所述規定持續時間時，從所述顯示信息取得單元取得接下來應該顯示的控制回路的最新的信息，針對每個相同種類的物理量對所取得的控制回路的信息中包括的與控制動作相關的物理量和所述顯示信息存儲單元中存儲的該控制回路的緊接在前的信息中包括的物理量進行比較，在對于至少1個物理量而接下來應該顯示的物理量的值相對于緊接在前的物理量的值變化了規定量以上的情況下，使顯示變更，以使得接下來應該顯示的控制回路的信息醒目。