[發明專利]一種半導體長距離晶圓傳輸裝置

在審

• 申請號: 201611041170.X
• 申請日: 2016-11-23
• 公開（公告）號: CN108091601A
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 尹碩
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

本發明涉及半導體生產中的晶圓傳輸設備，具體地說是一種半導體長距離晶圓傳輸裝置。包括：多個氣動滑臺機構，多個氣動滑臺機構至下而上依次疊置，用于晶圓在取晶圓位和晶圓目標位之間的傳輸；輔助支撐裝置，安裝在位于中間的氣動滑臺機構的底部，用于輔助支撐及行走。本發明使用疊層氣動滑臺設計，輔助以輔助支撐裝置，實現了長距離高精度的晶圓傳輸。本發明當晶圓傳輸機構回歸原位時，可使整個傳輸結構保持在相對較小的一塊可拆卸的獨立區域內，避免了長距離傳輸手臂不利于設備維護的弊端。

技術領域

本發明涉及半導體生產中的晶圓傳輸設備，具體地說是一種半導體長距離晶圓傳輸裝置。

背景技術

在半導體設備中，尤其是結構與體積較復雜的設備中，除了使用機械手臂傳輸晶圓外，還會使用一些特殊的晶圓傳輸裝置，來完成一些機械手臂無法完成的動作。這些單元往往由于空間及功能要求的限制，需要具備一些特殊的功能，使其結構復雜，設備維護繁瑣，成本高，且傳輸精度不高。

發明內容

為了解決上述問題，本發明的目的在于提供一種半導體長距離晶圓傳輸裝置，以解決在有限空間內實現長距離精確傳輸晶圓的問題。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種半導體長距離晶圓傳輸裝置，所述裝置包括：

多個氣動滑臺機構，多個氣動滑臺機構至下而上依次疊置，用于晶圓在取晶圓位和晶圓目標位之間的傳輸；

輔助支撐裝置，安裝在位于中間的氣動滑臺機構的底部，用于輔助支撐及行走。

所述氣動滑臺機構包括氣動滑臺支撐體、導軌及氣動滑臺，其中氣動滑臺支撐體的兩端設有壓縮空氣入口、且內部設有活塞，所述導軌設置于所述氣動滑臺支撐體的上方，所述氣動滑臺與所述導軌滑動連接、且與所述氣動滑臺支撐體內部的活塞連接。

相鄰兩個所述氣動滑臺機構中，位于上方的氣動滑臺支撐體與位于下方的氣動滑臺連接。

所述輔助支撐裝置包括腳輪連接塊和腳輪，所述腳輪連接塊與氣動滑臺機構的前端底部連接，所述腳輪可轉動地安裝在所述腳輪連接塊上。

所述輔助支撐裝置為兩個、且分別設置于所述氣動滑臺機構的前端兩側。

所述氣動滑臺機構為三個，位于中間的氣動滑臺機構的前端設有輔助支撐裝置。

本發明的優點及有益效果是：

1、本發明使用疊層氣動滑臺設計，輔助以輔助支撐裝置，實現了長距離高精度的晶圓傳輸。

2、本發明當晶圓傳輸機構回歸原位時，可使整個傳輸結構保持在相對較小的一塊可拆卸的獨立區域內，避免了長距離傳輸手臂不利于設備維護的弊端。

3.本發明用于半導體設備內部，實現長距離晶圓的精確傳輸，完成機械手臂不能完成的工藝動作。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖；

圖2是本發明晶圓傳輸裝置示意圖；

圖3是本發明晶圓傳輸裝置輔助支撐裝置示意圖；

圖4是本發明中氣動滑臺機構的結構示意圖；

圖5是圖4的俯視圖。