[發明專利]保護膜形成用樹脂劑和激光加工方法

有效

• 申請號: 201611040545.0
• 申請日: 2016-11-10
• 公開（公告）號: CN108373694B
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 大浦幸伸;梁仙一;山下陽平
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: C09D129/04
• 分類號: C09D129/04;C09D7/61;C03B33/08
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

本發明涉及保護膜形成用樹脂劑和激光加工方法。在使用激光束的加工中，進一步提高加工性、加工品質和成品率。作為用于激光加工的保護膜形成用樹脂劑，使用含有水溶性樹脂和分散在樹脂水溶液中且具有細長形狀的金屬氧化物的微粒的保護膜形成用樹脂劑，所述細長形狀的截面具有長軸和與長軸正交的短軸。具有截面具有長軸和與長軸正交的短軸的細長形狀的金屬氧化物的微粒分散在樹脂水溶液中，因此通過將其涂布在被加工物上形成保護膜來進行激光加工，保護膜中的激光束的吸收率增高，因此加工效率提高，對于對激光束波長的吸收性低的基板，也能夠高效地進行激光加工。此外，加工品質也增高，從而能夠提高利用加工制造的制品的成品率。

技術領域

本發明涉及一種用于激光加工的保護膜形成用樹脂劑和將該保護膜形成用樹脂劑涂布在基板上來進行激光加工的激光加工方法。

背景技術

以往，在玻璃等板狀物的切斷/分割中使用激光束。專利文獻1中記載了對玻璃基板照射激光束實施燒蝕加工時，通過將分散有二氧化鈦(TiO₂)等微小金屬氧化物的樹脂涂布在玻璃基板上形成保護膜，從而提高激光束的吸收效率，提高玻璃基板的加工性。

與將未分散有金屬氧化物的樹脂用作保護膜形成用的液體的情況相比，通過使用該技術，能夠減少碎屑、激光誤燒點(レーザ焼け)的產生率。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013-81951號公報

發明內容

發明所要解決的課題

但是，在引用文獻1記載的發明中，從加工性、加工品質、成品率的觀點出發，還要求進一步的提高。

本發明是鑒于這樣的點而完成的，其課題在于在使用激光束的加工中，進一步提高加工性、加工品質和成品率。

用于解決課題的手段

本發明為用于激光加工的保護膜形成用樹脂劑，其含有水溶性樹脂和分散在水溶性樹脂中且具有細長形狀的金屬氧化物的微粒，所述細長形狀的截面具有長軸和與長軸正交的短軸。

優選的是，對于金屬氧化物的微粒，長軸的長度為500nm以下，短軸的長度為長軸的長度的1/10～1/5。優選的是，保護膜形成用樹脂劑含有0.1～10體積％的金屬氧化物的微粒。

此外，本發明為照射激光束對基板進行燒蝕加工的激光加工方法，其具備：保護膜形成工序，在至少要進行燒蝕加工的基板上的區域涂布上述保護膜形成用樹脂劑，形成含金屬氧化物的微粒的保護膜；和激光加工工序，實施保護膜形成工序后，對形成有保護膜的區域照射激光束實施燒蝕加工。

發明效果

對于本發明的保護膜形成用樹脂劑，具有截面具有長軸和與長軸正交的短軸的細長形狀的金屬氧化物的微粒分散在水溶性樹脂中，因此在樹脂中的分散性優異。因此，通過將其涂布在被加工物上形成保護膜來進行激光加工，保護膜中的激光束的吸光度增高，因此加工效率提高，對于對激光束的波長的吸收性低的基板也能夠高效地進行激光加工。此外，加工品質也增高，從而能夠提高利用加工制造的制品的成品率。

附圖說明

圖1為示出激光加工裝置的示例的立體圖。

圖2為示出激光加工裝置中具備的保護膜形成單元的立體圖。

圖3為示出在表面被覆有保護膜的板狀工件的放大截面圖。

圖4為示出使用有本發明的保護膜形成用樹脂劑的保護膜的放大照片。

圖5為示出使用有現有的保護膜形成用樹脂劑的保護膜的放大照片。