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[發明專利]保護膜形成用樹脂劑和激光加工方法有效

專利信息
申請號: 201611040545.0 申請日: 2016-11-10
公開(公告)號: CN108373694B 公開(公告)日: 2021-08-17
發明(設計)人: 大浦幸伸;梁仙一;山下陽平 申請(專利權)人: 株式會社迪思科
主分類號: C09D129/04 分類號: C09D129/04;C09D7/61;C03B33/08
代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127 代理人: 龐東成;褚瑤楊
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 保護膜 形成 樹脂劑 激光 加工 方法
【權利要求書】:

1.一種保護膜形成用樹脂劑,其為用于激光加工的保護膜形成用樹脂劑,其含有水溶性樹脂和分散在所述水溶性樹脂內且具有細長形狀的金屬氧化物的微粒,所述細長形狀的截面具有長軸和與該長軸正交的短軸,

所述長軸的長度為500nm以下,所述短軸的長度為所述長軸的長度的1/10~1/5。

2.如權利要求1所述的保護膜形成用樹脂劑,其中,含有0.1體積%~10體積%的所述金屬氧化物的微粒。

3.一種激光加工方法,其為照射激光束對基板進行燒蝕加工的激光加工方法,

其具備:

保護膜形成工序,在至少要進行燒蝕加工的基板上的區域涂布權利要求1或2所述的保護膜形成用樹脂劑,形成含所述金屬氧化物的微粒的保護膜;和

激光加工工序,實施所述保護膜形成工序后,向形成有所述保護膜的區域照射激光束實施燒蝕加工。

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