[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體工件的搬運(yùn)系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611039907.4
• 申請日: 2016-11-11
• 公開（公告）號: CN107039321A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黎輔憲;董啟峰;沈香吟
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287
• 代理人: 路勇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體工件的搬運(yùn)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在集成電路(IC)的批量制造期間，工件在多個(gè)處理及檢驗(yàn)工具處重復(fù)處理以逐漸構(gòu)造IC。歸因于多個(gè)工具的使用，在工具之間搬運(yùn)工件對于快速及高效批量制造IC是重要的。根據(jù)一些搬運(yùn)系統(tǒng)，工件由在軌條上行進(jìn)的高架式搬運(yùn)(OHT)載具搬運(yùn)。OHT載具可經(jīng)配置以將工件抬離工具的裝載端口以沿著軌條側(cè)向移動(dòng)工件及/或?qū)⒐ぜ诺偷焦ぞ叩难b載端口上。

發(fā)明內(nèi)容

因此，如可從上文了解，本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體工件的搬運(yùn)系統(tǒng)。第一載具經(jīng)配置以在第一軌條上行進(jìn)且沿著所述第二軌條移動(dòng)半導(dǎo)體工件。第二載具經(jīng)配置以在上覆于第一軌條的第二軌條上行進(jìn)且沿著所述第二軌條移動(dòng)半導(dǎo)體工件?？刂破鹘?jīng)配置以控制第一載具及第二載具以沿著第一軌條及第二軌條在處理或檢驗(yàn)工具之間轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體工件。

在其它實(shí)施例中，本發(fā)明提供一種用于搬運(yùn)半導(dǎo)體工件的方法。將半導(dǎo)體工件從第一處理或檢驗(yàn)工具轉(zhuǎn)移到第一載具中。第一載具經(jīng)配置以在第一軌條上行進(jìn)。半導(dǎo)體工件與第一載具一起沿著第一軌條移動(dòng)。將半導(dǎo)體工件從第一載具轉(zhuǎn)移到第二載具，所述第二載具經(jīng)配置以在上覆于第一軌條的第二軌條上行進(jìn)。半導(dǎo)體工件與第二載具一起沿著第二軌條移動(dòng)。將半導(dǎo)體工件從第二載具轉(zhuǎn)移到第二處理或檢驗(yàn)工具。

在其它實(shí)施例中，本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體工件的搬運(yùn)系統(tǒng)。存儲緩沖區(qū)經(jīng)配置以存儲工件托架。第一載具經(jīng)配置以在布置于存儲緩沖區(qū)上方且從所述存儲緩沖區(qū)側(cè)向偏移的一或多個(gè)第一軌條上行進(jìn)且在所述一或多個(gè)第一軌條下方移動(dòng)工件托架。第二載具經(jīng)配置以在第二軌條上行進(jìn)且在所述第二軌條下方移動(dòng)工件托架。第二軌條布置在一或多個(gè)第一軌條上方且從一或多個(gè)第一軌條側(cè)向偏移，且第二軌條布置在存儲緩沖區(qū)正上方?？刂破鹘?jīng)配置以控制第一載具及第二載具以沿著第一軌條及第二軌條在處理或檢驗(yàn)工具之間轉(zhuǎn)移工件托架。

附圖說明

在結(jié)合附圖閱讀時(shí)，從下文詳細(xì)描述最佳地了解本發(fā)明的方面。注意，根據(jù)行業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐，各種特征未按比例繪制。實(shí)際上，為了論述清楚，各個(gè)特征的尺寸可任意增大或減小。

圖1說明具有多層軌條的高架式搬運(yùn)(OHT)系統(tǒng)的一些實(shí)施例的透視圖。

圖2說明具有多層軌條的OHT系統(tǒng)的一些實(shí)施例的更詳細(xì)透視圖。

圖3A說明具有多層軌條的OHT系統(tǒng)的一些實(shí)施例的俯視圖。

圖3B說明圖3A的OHT系統(tǒng)的一些實(shí)施例的截面圖。

圖4、5A、5B、6、7、8A、8B、9、10、11A、11B及12說明用于跨多層軌條在相應(yīng)工具的裝載端口之間轉(zhuǎn)移工件的方法的一些實(shí)施例的一系列俯視圖及截面圖。

圖13說明用于跨多層軌條在相應(yīng)工具的裝載端口之間轉(zhuǎn)移工件的方法的一些實(shí)施例的流程圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明提供用于實(shí)施本發(fā)明的不同特征的許多不同實(shí)施例或?qū)嵗Ｏ挛拿枋鼋M件及布置的具體實(shí)例以簡化本發(fā)明。當(dāng)然，這些僅為實(shí)例且不希望具限制性。例如，在下文描述中第一特征形成于第二特征上方或形成于第二特征上可包含其中第一特征及第二特征形成為直接接觸的實(shí)施例，且還可包含其中額外特征可形成于第一特征與第二特征之間，使得第一特征及第二特征可不直接接觸的實(shí)施例。此外，本發(fā)明可在各種實(shí)例中重復(fù)元件符號及/或字母。此重復(fù)是為了簡單及清楚的目的，且本身不指示所論述的各種實(shí)施例及/或配置之間的關(guān)系。

此外，空間關(guān)系術(shù)語(例如“下面”、“下方”、“下”、“上方”、“上”及類似者)在本文中可用于方便描述以描述如圖中所說明的一個(gè)元件或特征與另外元件或特征的關(guān)系?？臻g關(guān)系術(shù)語除涵蓋在圖中所描繪的定向之外，還希望涵蓋裝置在使用或操作中的不同定向。設(shè)備可以其它方式(旋轉(zhuǎn)90度或以其它定向)進(jìn)行定向，且相應(yīng)地可同樣地解釋本文中使用的空間關(guān)系描述詞。

用于搬運(yùn)半導(dǎo)體工件的一些高架式搬運(yùn)(OHT)系統(tǒng)包括具有一或多個(gè)共面軌條回路的單層軌條設(shè)計(jì)。例如，這些OHT系統(tǒng)可包括兩個(gè)或更多個(gè)共面、同心軌條回路。共面軌條回路由在軌條回路之間側(cè)向延伸的橋互連，且承載經(jīng)配置以沿著軌條回路在下伏于軌條回路或以其它方式鄰近軌條回路的處理及/或檢驗(yàn)工具之間移動(dòng)工件的OHT載具。