[發(fā)明專利]空間自調(diào)焦激光差動(dòng)共焦拉曼光譜探測(cè)方法與裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611038963.6
• 申請(qǐng)日: 2016-11-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106770154B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 祝連慶;王帥;張?chǎng)?/a>;姚齊峰;董明利;婁小平;駱飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京信息科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N21/65
• 分類號(hào): G01N21/65;G01J3/44;G01J3/02
• 代理公司: 北京律恒立業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11416
• 代理人: 顧珊;龐立巖

1.一種空間自調(diào)焦激光差動(dòng)共焦拉曼光譜探測(cè)裝置，包括激發(fā)光束系統(tǒng)、望遠(yuǎn)調(diào)焦系統(tǒng)、二向色分光系統(tǒng)、第一分光系統(tǒng)、拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)、差動(dòng)共焦探測(cè)系統(tǒng)及數(shù)據(jù)處理模塊和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)；

其中，所述激發(fā)光束系統(tǒng)和望遠(yuǎn)調(diào)焦系統(tǒng)沿光路依次置于二向色分光系統(tǒng)的反射方向；

所述的第一分光系統(tǒng)置于二向色分光系統(tǒng)的透射方向，拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)位于第一分光系統(tǒng)的透射方向，差動(dòng)共焦探測(cè)系統(tǒng)位于第一分光系統(tǒng)的反射方向；

所述的數(shù)據(jù)處理模塊與拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)、差動(dòng)共焦探測(cè)系統(tǒng)和望遠(yuǎn)調(diào)焦系統(tǒng)連接；

所述望遠(yuǎn)調(diào)焦系統(tǒng)包括望遠(yuǎn)調(diào)焦機(jī)構(gòu)，望遠(yuǎn)調(diào)焦鏡和望遠(yuǎn)集光鏡，望遠(yuǎn)調(diào)焦機(jī)構(gòu)連接所述數(shù)據(jù)處理模塊；

激發(fā)光束系統(tǒng)產(chǎn)生激發(fā)光，經(jīng)二向色分光系統(tǒng)反射，經(jīng)望遠(yuǎn)調(diào)焦鏡后，聚焦在被測(cè)樣品上，并在樣品上激發(fā)出瑞利散射光和載有被測(cè)樣品光譜特性的拉曼散射光，激發(fā)出的拉曼散射光和瑞利散射光被系統(tǒng)收集回光路，經(jīng)過(guò)望遠(yuǎn)調(diào)焦系統(tǒng)和二向色分光系統(tǒng)透射后，拉曼散射光和部分瑞利散射光經(jīng)第一分光系統(tǒng)分光，部分瑞利散射光被反射進(jìn)入差動(dòng)共焦探測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行位置探測(cè)，拉曼散射光透射進(jìn)入光譜探測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行光譜探測(cè)，數(shù)據(jù)處理模塊控制望遠(yuǎn)調(diào)焦機(jī)構(gòu)調(diào)焦，使激發(fā)光聚焦在樣品上，使共焦響應(yīng)曲線最大，完成激發(fā)光束的自動(dòng)聚焦。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間自調(diào)焦激光差動(dòng)共焦拉曼光譜探測(cè)裝置，其特征在于，所述的激發(fā)光束系統(tǒng)還包括偏振調(diào)制器和光瞳濾波器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空間自調(diào)焦激光差動(dòng)共焦拉曼光譜探測(cè)裝置，其特征在于，所述光瞳濾波器位于偏振控制器與二向色分光系統(tǒng)之間或位于二向色分光系統(tǒng)與望遠(yuǎn)調(diào)焦系統(tǒng)之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間自調(diào)焦激光差動(dòng)共焦拉曼光譜探測(cè)裝置，其特征在于，所述拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)是普通拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)，包括沿光路依次放置的第五聚光鏡，位于第五聚光鏡焦點(diǎn)位置的第一光譜儀及位于第一光譜儀后的第二探測(cè)器；或是共焦拉曼光譜探測(cè)系統(tǒng)，包括沿光路依次放置的第七聚光鏡，位于第七聚光鏡焦點(diǎn)位置的第三針孔，位于第三針孔后的第八聚光鏡，位于第八聚光鏡焦點(diǎn)位置的第二光譜儀及位于第二光譜儀后的第三探測(cè)器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間自調(diào)焦激光差動(dòng)共焦拉曼光譜探測(cè)裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理模塊包括差動(dòng)共焦數(shù)據(jù)處理模塊、數(shù)據(jù)融合模塊和數(shù)據(jù)控制模塊。