[發明專利]存儲器陣列的操作方法在審
| 申請號: | 201611032425.6 | 申請日: | 2016-11-15 |
| 公開(公告)號: | CN108074618A | 公開(公告)日: | 2018-05-25 |
| 發明(設計)人: | 吳冠緯;張耀文;楊怡箴 | 申請(專利權)人: | 旺宏電子股份有限公司 |
| 主分類號: | G11C16/34 | 分類號: | G11C16/34;G11C16/14 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 任巖 |
| 地址: | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 編程步驟 存儲單元 擦除 存儲器陣列 控制柵 柱狀通道 存儲層 編程 環繞柱 交錯處 柱狀 | ||
1.一種存儲器陣列的操作方法,包括:
一全部編程步驟,用以編程一NAND串行的所有多個存儲單元,其中該NAND串行包括:
一柱狀通道層;
一柱狀存儲層;及
多個控制柵,間隔環繞該柱狀存儲層,這些存儲單元系定義在該柱狀通道層與這些控制柵的交錯處;
一擦除步驟,用以擦除該NAND串行的所有這些存儲單元,且系在該全部編程步驟之后執行;及
一選擇編程步驟,用以編程該NAND串行的這些存儲單元的一部分,且系在該擦除步驟之后執行。
2.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,其中該擦除步驟系在該全部編程步驟之后直接進行。
3.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,包括至少兩次該擦除步驟,其中系在執行一次該全部編程步驟之后執行該至少兩次該擦除步驟。
4.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,更包括另一擦除步驟,用以擦除該NAND串行的所有這些存儲單元,其中該選擇編程步驟系在該擦除步驟與該另一擦除步驟之間。
5.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,其中該存儲器陣列包括多個該NAND串行,該存儲器陣列的操作方法包括對這些NAND串行的所有這些存儲單元同時進行該全部編程步驟,并然后同時進行該擦除步驟。
6.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,其中該全部編程步驟及/或該選擇編程步驟包括提供一編程偏壓至這些控制柵,該擦除步驟包括提供一擦除偏壓至這些控制柵,該編程偏壓為一正偏壓,該擦除偏壓為一負偏壓。
7.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,更包括另一全部編程步驟,用以編程該NAND串行的所有這些存儲單元,且系在該選擇編程步驟之后執行。
8.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,其中該柱狀存儲層包括一電荷捕捉膜,該全部編程步驟及/或該選擇編程步驟系將電子注入該電荷捕捉膜,該擦除步驟系將空穴注入該電荷捕捉膜。
9.根據權利要求1所述的存儲器陣列的操作方法,其中該柱狀存儲層是一氧化物-氮化物-氧化物(ONO)結構或一氧化物-氮化物-氧化物-氮化物-氧化物(ONONO)結構,由該NAND串行的所有這些個存儲單元共享。
10.一種存儲器陣列的操作方法,包括:
對相鄰的至少三個存儲單元進行一全部編程步驟,其中相鄰的該至少三個存儲單元系共享一存儲層;
在該全部編程步驟之后,對相鄰的該至少三個存儲單元進行一擦除步驟;以及
在該擦除步驟之后,僅對相鄰的該至少三個存儲單元的一部分進行一選擇編程步驟。
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