[發明專利]一種單晶硅電池生產工藝用硅片減薄設備有效
| 申請號: | 201611027979.7 | 申請日: | 2016-11-18 |
| 公開(公告)號: | CN106783670B | 公開(公告)日: | 2019-11-05 |
| 發明(設計)人: | 梁葉青 | 申請(專利權)人: | 安徽省鳳陽縣前力玻璃制品有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京恒泰銘睿知識產權代理有限公司 11642 | 代理人: | 周成金 |
| 地址: | 233100*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶硅 電池 生產工藝 硅片 設備 | ||
1.一種單晶硅電池生產工藝用硅片減薄設備,其特征在于,包括有第一轉軸(1)、蝸輪(2)、平皮帶(3)、第二轉軸(4)、第一軸承座(5)、大皮帶輪(6)、齒輪(7)、第一安裝座(8)、齒條(9)、滑塊(10)、滑軌(11)、右架(12)、網板(13)、葉片(14)、第二軸承座(15)、密封圈(16)、處理框(17)、電控閥(18)、出液管(19)、第二安裝座(20)、第三軸承座(21)、小皮帶輪(22)、蝸桿(23)、L型連桿(24)和旋轉電機(25),底板(26)頂部右端焊接有右架(12),右架(12)左側上部通過螺栓連接的方式連接有滑軌(11),右架(12)左側下部焊接有齒條(9),齒條(9)位于滑軌(11)前側,滑軌(11)上滑動式連接滑塊(10),滑塊(10)與滑軌(11)配合,滑塊(10)左側通過螺栓連接的方式連接有處理框(17),處理框(17)左壁下部焊接有出液管(19),出液管(19)上設有電控閥(18),處理框(17)內中部通過螺栓連接的方式連接有網板(13),處理框(17)底部中間通過螺栓連接的方式連接有第二軸承座(15),蝸桿(23)與第二軸承座(15)內的軸承過盈連接,處理框(17)內底部中間膠接有密封圈(16),密封圈(16)與第二軸承座(15)緊密接觸,蝸桿(23)頂端穿過密封圈(16),蝸桿(23)上端對稱焊接有葉片(14),葉片(14)位于網板(13)正下方,處理框(17)底部左側焊接有L型連桿(24),L型連桿(24)右端通過螺栓連接的方式固定連接有旋轉電機(25),旋轉電機(25)上的輸出軸通過聯軸器連接的方式與蝸桿(23)底端連接,處理框(17)底部右側焊接有第二安裝座(20)和第一安裝座(8),第一安裝座(8)位于第二安裝座(20)右側,第一安裝座(8)上通過螺栓連接的方式連接有第一軸承座(5),第二轉軸(4)與第一軸承座(5)內的軸承過盈連接,第二轉軸(4)上通過平鍵連接的方式連接有齒輪(7)和大皮帶輪(6),齒輪(7)可轉動,齒輪(7)與齒條(9)嚙合,齒輪(7)位于大皮帶輪(6)后側,第二安裝座(20)上通過螺栓連接的方式連接有第三軸承座(21),第一轉軸(1)與第三軸承座(21)內的軸承過盈連接,第一轉軸(1)上通過平鍵連接的方式連接有蝸輪(2)和小皮帶輪(22),蝸輪(2)可轉動,蝸輪(2)位于小皮帶輪(22)后側,小皮帶輪(22)與大皮帶輪(6)之間連接有平皮帶(3),蝸輪(2)與蝸桿(23)配合。
2.根據權利要求1所述的一種單晶硅電池生產工藝用硅片減薄設備,其特征在于,還包括有加強筋(27),底板(26)頂部右側焊接有加強筋(27),加強筋(27)右端與右架(12)左側下部連接。
3.根據權利要求1所述的一種單晶硅電池生產工藝用硅片減薄設備,其特征在于,還包括有行程開關(28),滑軌(11)左側上下均通過螺釘連接的方式對稱連接有行程開關(28),行程開關(28)通過線路與旋轉電機(25)連接。
4.根據權利要求1所述的一種單晶硅電池生產工藝用硅片減薄設備,其特征在于,底板(26)材料為不銹鋼。
5.根據權利要求1所述的一種單晶硅電池生產工藝用硅片減薄設備,其特征在于,旋轉電機(25)為伺服電機。
6.根據權利要求1所述的一種單晶硅電池生產工藝用硅片減薄設備,其特征在于,處理框(17)的材料為Q235鋼。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





