[發明專利]基于Ge襯底的La基介質材料高K金屬柵結構及制備方法在審
| 申請號： | 201611024689.7 | 申請日： | 2016-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN106531785A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 劉紅俠;王永特;趙璐;汪星;費晨曦;馮興堯 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L29/49 | 分類號： | H01L29/49;H01L29/51;H01L21/28 |
| 代理公司： | 陜西電子工業專利中心61205 | 代理人： | 王品華,朱紅星 |
| 地址： | 710071 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 ge 襯底 la 介質 材料 金屬 結構 制備 方法 | ||
【說明書】：
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