[發(fā)明專利]一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611008331.5
• 申請日: 2016-11-16
• 公開（公告）號: CN106756892B
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 肖潔;李斌;曹明旺
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

本發(fā)明公開了一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機(jī)構(gòu)，包括推舟及設(shè)于推舟上的一對推舟桿組件，各所述推舟桿組件遠(yuǎn)離所述推舟的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)式拉舟塊，所述推舟上設(shè)有用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊轉(zhuǎn)動的驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件與所述推舟桿組件連接，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、能夠順利進(jìn)入石墨舟底部并可靠拉舟等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光伏設(shè)備，尤其涉及一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

PECVD設(shè)備（其中PECVD為Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的簡寫，又稱等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法）是光伏制造領(lǐng)域必不可少的裝備，近年來，隨著我國光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，自動化、智能化制造成為趨勢，PECVD的自動化生產(chǎn)就是其中很重要的一環(huán)。

如附圖1至圖5所示，石墨舟100（裝載太陽能電池片的石墨平臺，形狀與龍舟相似）通過機(jī)械手放置于一對推舟桿200上，然后利用推舟300（用于承載推舟桿200和石墨舟100的機(jī)構(gòu)）將石墨舟100送入石英管400內(nèi)進(jìn)行工藝過程，反應(yīng)完成之后，推舟桿200插入石墨舟100底部并抬起石墨舟100，然后利用安裝于推舟桿200上的拉舟塊500將石墨舟100拉出來，放舟時拉舟塊500也可對石墨舟100進(jìn)行定位。由于受到石英管400尺寸的限制，同時也為了推舟桿200能夠順利地進(jìn)入石墨舟100底部，拉舟塊500的高度設(shè)計較低。隨著使用時間的增加，推舟桿200會發(fā)生變形，推舟桿200中段不能有效將石墨舟100抬起，拉舟時由于拉舟塊500高度過低無法有效拉動石墨舟100，石墨舟100會越過拉舟塊500，從而導(dǎo)致拖舟現(xiàn)象。此外，現(xiàn)有的拉舟塊500因高度過低，無法校準(zhǔn)石墨舟100在推舟桿200上位置的偏移，當(dāng)石墨舟100放置不準(zhǔn)確而架在拉舟塊500上時，導(dǎo)致石墨舟100取放位置出現(xiàn)偏差，機(jī)械手取石墨舟100時容易砸舟、壓舟，從而損壞石墨舟100。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能夠順利進(jìn)入石墨舟底部并可靠拉舟的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機(jī)構(gòu)。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機(jī)構(gòu)，包括推舟及設(shè)于推舟上的一對推舟桿組件，各所述推舟桿組件遠(yuǎn)離所述推舟的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)式拉舟塊，所述推舟上設(shè)有用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊轉(zhuǎn)動的驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件與所述推舟桿組件連接。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)：

所述推舟桿組件包括推舟管及旋轉(zhuǎn)桿，所述推舟管固設(shè)于所述推舟上，所述旋轉(zhuǎn)桿穿過所述推舟管，所述旋轉(zhuǎn)式拉舟塊設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離所述推舟的一端，所述驅(qū)動組件與所述旋轉(zhuǎn)桿的另一端連接。

所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動缸、一對連桿及一對轉(zhuǎn)盤，所述驅(qū)動缸裝設(shè)于所述推舟上且推桿與一對連桿的一端鉸接，一對連桿的另一端分別與一個轉(zhuǎn)盤鉸接，一對轉(zhuǎn)盤與一對旋轉(zhuǎn)桿一一對應(yīng)連接。

所述驅(qū)動組件還包括PLC控制器，所述PLC控制器與所述驅(qū)動缸連接。

所述驅(qū)動缸為氣缸。

所述旋轉(zhuǎn)式拉舟塊靠近所述推舟的側(cè)面為傾斜調(diào)整面，當(dāng)石墨舟 落在所述傾斜調(diào)整面上時，所述石墨舟向下滑動并向所述推舟靠近。

當(dāng)一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊轉(zhuǎn)動至一對推舟桿組件之間時，一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊接觸。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明公開的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機(jī)構(gòu)，在各推舟桿組件上分別設(shè)置一塊旋轉(zhuǎn)式拉舟塊，旋轉(zhuǎn)式拉舟塊由驅(qū)動組件驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，需要將推舟桿組件穿過石墨舟時，將旋轉(zhuǎn)式拉舟塊轉(zhuǎn)動至水平狀態(tài)以降低高度，從而克服石英管和石墨舟的尺寸限制；拉舟時再將旋轉(zhuǎn)式拉舟塊旋轉(zhuǎn)至豎直狀態(tài)恢復(fù)最大高度，又可避免因高度不夠?qū)е碌耐现奂笆鄱ㄎ徊粶?zhǔn)的現(xiàn)象，結(jié)構(gòu)簡單、可靠；且驅(qū)動組件裝設(shè)于推舟上，遠(yuǎn)離石英管內(nèi)高溫環(huán)境，避免損壞。