[發(fā)明專利]一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611008331.5
• 申請日: 2016-11-16
• 公開（公告）號: CN106756892B
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 肖潔;李斌;曹明旺
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

1.一種用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，包括推舟（300）及設(shè)于推舟（300）上的一對推舟桿組件（1），其特征在于：各所述推舟桿組件（1）遠離所述推舟（300）的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)式拉舟塊（2），所述推舟（300）上設(shè)有用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)式拉舟塊（2）轉(zhuǎn)動的驅(qū)動組件（3），所述驅(qū)動組件（3）與所述推舟桿組件（1）連接，所述推舟桿組件（1）包括推舟管（11）及旋轉(zhuǎn)桿（12），所述推舟管（11）固設(shè)于所述推舟（300）上，所述旋轉(zhuǎn)桿（12）穿過所述推舟管（11），所述旋轉(zhuǎn)式拉舟塊（2）設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)桿（12）遠離所述推舟（300）的一端，所述驅(qū)動組件（3）與所述旋轉(zhuǎn)桿（12）的另一端連接，所述驅(qū)動組件（3）包括驅(qū)動缸（31）、一對連桿（32）及一對轉(zhuǎn)盤（33），所述驅(qū)動缸（31）裝設(shè)于所述推舟（300）上且推桿與一對連桿（32）的一端鉸接，一對連桿（32）的另一端分別與一個轉(zhuǎn)盤（33）鉸接，一對轉(zhuǎn)盤（33）與一對旋轉(zhuǎn)桿（12）一一對應連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動組件（3）還包括PLC控制器（34），所述PLC控制器（34）與所述驅(qū)動缸（31）連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動缸（31）為氣缸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項所述的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)式拉舟塊（2）靠近所述推舟（300）的側(cè)面為傾斜調(diào)整面（21），當石墨舟（100） 落在所述傾斜調(diào)整面（21）上時，所述石墨舟（100）向下滑動并向所述推舟（300）靠近。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于PECVD設(shè)備的石墨舟推舟機構(gòu)，其特征在于：當一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊（2）轉(zhuǎn)動至一對推舟桿組件（1）之間時，一對旋轉(zhuǎn)式拉舟塊（2）接觸。