[發明專利]基板的更換方法

有效

• 申請號: 201611001027.8
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN106873313B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 青木保夫;柳川卓也
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/677;B65G49/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

于本發明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盤(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)內，設有按壓基板托盤(40a)使基板(P)與基板托盤(40a)一起移動的基板搬出裝置(70a)。因此，能在對基板(P)的曝光處理結束后，為更換基板(P)而使基板載臺(20a)位于基板更換位置之前，開始基板(P)的搬出動作。

本申請是申請日為2012年5月11日，申請號為201280023751.4，發明名稱為“基板的更換方法”的專利申請的分案申請

技術領域

本發明是關于物體的搬出方法、物體的更換方法、物體保持裝置、曝光裝置、平面顯示器的制造方法以及元件制造方法，詳言之，是關于將物體保持裝置上的物體與物體支承構件一起從前述物體保持裝置搬出的物體的搬出方法、包含前述物體的搬出方法的前述物體保持裝置上的物體的更換方法、具備用以搬出前述物體的搬出裝置的至少一部的物體保持裝置、具備前述物體保持裝置的曝光裝置、使用前述曝光裝置的平面顯示器的制造方法、以及使用前述曝光裝置的元件制造方法。

背景技術

一直以來，于制造液晶顯示元件、半導體元件(集成電路)等電子元件(微元件)的光刻工藝，主要是使用步進重復(step&repeat)方式的投影曝光裝置(所謂的步進機)、或步進掃描(step&scan)方式的投影曝光裝置(所謂的掃描步進機(亦稱為掃描機))等。

作為此種曝光裝置，已知有將曝光對象物的玻璃板或晶圓(以下，統稱為“基板”)使用既定基板搬送裝置對基板載臺裝置進行搬入及搬出者(例如，參照專利文獻1)。

此處，于曝光裝置，當對基板載臺裝置所保持的基板進行的曝光處理結束時，將該基板從基板載臺上搬出，并將另一基板搬送至基板載臺上，據以連續進行對復數個基板的曝光處理。因此，在對復數個基板連續進行曝光處理時，最好是能迅速地進行基板從基板載臺裝置的搬出。

先行技術文獻

專利文獻1：美國專利第6,559,928號說明書

發明內容

本發明有鑒于上述情事，其第1觀點為一種物體的搬出方法，包含：使保持有用以保持物體的物體保持構件與用于該物體的搬送的物體支承構件的物體保持裝置，朝向從該物體保持構件上搬出該物體的物體搬出位置移動；以及在該物體保持裝置到達該物體搬出位置前，開始將該物體從該物體保持構件上搬出的搬出動作。

根據此方法，由于是在物體保持裝置到達物體搬出位置的前開始物體的搬出動作，因此能迅速進行物體保持構件上的物體的搬出動作。

本發明第2觀點，為一種在物體保持裝置上的物體的更換方法，包含：實施本發明第1觀點的物體的搬出方法的動作；在該物體保持裝置到達該物體搬出位置前，使被支承于另一物體支承構件的另一物體待機于既定待機位置的動作；在該物體保持裝置位于該物體搬出位置的狀態下，將該物體與支承該物體的該物體支承構件從該物體保持裝置搬出的動作；以及將位于該待機位置的該另一物體與支承該另一物體的該另一物體支承構件一起搬入該物體保持裝置上的動作。

本發明第3觀點，為一種物體保持裝置，具備：保持物體與用于搬送該物體的物體支承構件的物體保持構件；以及將該物體保持構件所保持的該物體與支承該物體的該物體支承構件一起從該物體保持構件上搬出的搬出裝置的的至少一部分。

本發明第4觀點，為一種曝光裝置，包含：本發明第3觀點的物體保持裝置；以及于該物體使用能量束形成既定圖案的圖案形成裝置。

本發明第5觀點，為一種曝光裝置，是通過能量束使物體曝光以于該物體形成圖案，包含：物體保持裝置，具有用以保持該物體與用于搬送該物體的物體支承構件的物體保持構件、與將該物體保持構件所保持的該物體與用以支承該物體的該物體支承構件一起從該物體保持構件上搬出的搬出裝置的至少一部；以及圖案形成裝置，使用能量束于該物體形成既定圖案。