[發明專利]基板的更換方法

有效

• 申請號: 201611001027.8
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN106873313B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 青木保夫;柳川卓也
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/677;B65G49/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種物體的搬出方法，包含：

使保持有用以保持通過能量束形成有既定圖案的物體的物體保持構件與用于該物體的搬送的物體支承構件的物體保持裝置，朝向從該物體保持構件上搬出該物體的物體搬出位置移動；以及

在該物體保持裝置到達該物體搬出位置前，開始使該物體相對該物體保持構件相對移動，將該物體從該物體保持構件上搬出的搬出動作。

2.如權利要求1所述的物體的搬出方法，其中，該搬出動作的開始，使用該物體保持裝置所具有的搬出裝置使支承該物體的該物體支承構件相對該物體保持構件相對移動。

3.如權利要求1所述的物體的搬出方法，其中，該物體與該物體支承構件通過于該物體搬出位置往第1方向移動而被從該物體保持裝置搬出；

該搬出動作，與該物體保持裝置往與該第1方向交叉的第2方向的移動同時進行。

4.如權利要求1所述的物體的搬出方法，其中，該物體支承構件在該物體被保持于該物體保持構件的狀態下，從該物體分離而被保持于該物體保持裝置；

該搬出動作的開始，包含于該物體保持裝置上相對該物體驅動該物體支承構件以使之支承該物體的動作、與使支承有該物體的該物體支承構件與該物體一起相對該物體保持構件移動的動作。

5.一種物體保持裝置上的物體的更換方法，包含：

實施權利要求1至4中任一項所述的物體的搬出方法的動作；

在該物體保持裝置到達該物體搬出位置前，使被支承于另一物體支承構件的另一物體待機于既定待機位置的動作；

在該物體保持裝置位于該物體搬出位置的狀態下，將該物體與支承該物體的該物體支承構件從該物體保持裝置搬出的動作；以及

將位于該待機位置的該另一物體與支承該另一物體的該另一物體支承構件一起搬入該物體保持裝置上的動作。

6.如權利要求5所述的物體的更換方法，其中，該搬出動作，使該物體與支承該物體的該物體支承構件沿既定二維平面移動；

該搬入動作，使該另一物體與支承該另一物體的該另一物體支承構件沿與該既定二維平面正交的方向移動。

7.一種物體保持裝置，具備：

保持物體與用于搬送該物體的物體支承構件的物體保持構件；以及

將該物體保持構件所保持的該物體與支承該物體的該物體支承構件一起從該物體保持構件上搬出的搬出裝置；

該搬出裝置，在到達該物體從該物體保持構件上被搬出的物體搬出位置之前，開始使該物體相對該物體保持構件相對移動，將該物體從該物體保持構件上搬出的搬出動作。

8.如權利要求7所述的物體保持裝置，其中，該搬出裝置配置在該物體保持構件的外側。

9.如權利要求7所述的物體保持裝置，其進一步具備沿既定二維平面以既定行程誘導該物體保持構件的誘導裝置；

該搬出裝置設于該誘導裝置。

10.如權利要求7所述的物體保持裝置，其中，該搬出裝置設有復數個。

11.如權利要求7所述的物體保持裝置，其中，該搬出裝置具有按壓構件，通過按壓支承有該物體的該物體支承構件，據以將該物體與該物體保持構件從該物體支承構件搬出。

12.如權利要求11所述的物體保持裝置，其中，該按壓構件能在可按壓被保持于該物體保持構件的該物體支承構件的位置、與從被保持于該物體保持構件的該物體支承構件退避的位置之間移動。

13.如權利要求7所述的物體保持裝置，其中，該搬出裝置具有可抵接于該物體支承構件的旋轉體，通過使該旋轉體旋轉以使該物體支承構件移動。