[發明專利]堆疊透鏡組件和用于其的制造方法

有效

• 申請號: 201610995793.4
• 申請日: 2016-11-11
• 公開（公告）號: CN106707447B
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發明（設計）人: 陳偉平;萬宗瑋
• 申請（專利權）人: 豪威科技股份有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋融冰

1.一種堆疊透鏡組件，包括：

下基板，具有下基板頂部表面，所述下基板頂部表面上具有下部元件和內部間隔件，所述內部間隔件至少部分地圍繞所述下部元件；

上基板，具有上基板底部表面，所述上基板底部表面與所述下基板頂部表面相對且其上具有上部元件和外部間隔件，所述外部間隔件(i)被附接至所述內部間隔件并且(ii)至少部分地圍繞所述上部元件，

所述內部間隔件的部分在所述下基板和最靠近所述下基板的所述外部間隔件的表面之間；以及

在平行于所述上基板并包括所述內部間隔件的剖面和所述外部間隔件的剖面的所述堆疊透鏡組件的任一個剖面中，所述內部間隔件的剖面的整體在所述外部間隔件的剖面的內部邊界內。

2.如權利要求1所述的堆疊透鏡組件，還包括所述內部間隔件的頂部表面和其正上方的所述上基板底部表面上的區域之間的間隙。

3.如權利要求1所述的堆疊透鏡組件，所述下部元件和所述上部元件的至少一個為透鏡。

4.如權利要求1所述的堆疊透鏡組件，所述下部元件和所述上部元件分別為下部透鏡和上部透鏡，所述下部透鏡和所述上部透鏡為共軸的。

5.如權利要求1所述的堆疊透鏡組件，所述下部元件和所述上部元件的一個為圖像傳感器。

6.如權利要求1所述的堆疊透鏡組件，所述剖面是平行于所述下基板和所述上基板的至少一個的平面。

7.如權利要求1所述的堆疊透鏡組件，在所述下基板和所述上基板之間的平面中，所述外部間隔件至少部分地圍繞所述內部間隔件。

8.如權利要求1所述的堆疊透鏡組件，還包括所述內部間隔件和所述外部間隔件之間的粘合層。

9.一種堆疊透鏡晶圓，包括：

下部晶圓，具有下部晶圓頂部表面，所述下部晶圓頂部表面上具有(i)多個下部元件和(ii)下部間隔件層，所述下部間隔件層具有(a)對齊于一個各自的下部元件的多個孔和(b)每個相鄰的孔之間并至少部分地圍繞每個孔的通道；以及

上部晶圓，具有上部晶圓底部表面，所述上部晶圓底部表面與所述下部晶圓頂部表面相對且其上具有(i)多個上部元件和(ii)具有每個對齊于一個各自的上部元件的多個孔的上部間隔件層；

所述上部晶圓和所述下部晶圓被附接，所述上部間隔件層的至少部分在所述通道內以便，在平行于上部晶圓并包括下部間隔件層的剖面和上部間隔件層的剖面的所述堆疊透鏡晶圓的任一個剖面中，所述上部間隔件層的剖面的整體在所述下部間隔件層的剖面的內部邊界內。

10.如權利要求9所述的堆疊透鏡晶圓，所述通道是單個連續的通道。

11.一種用于制造堆疊透鏡組件的方法，包括：

在下部晶圓上形成下部間隔件層，所述下部間隔件層具有(a)對齊于所述下部晶圓上的多個下部元件的各自一個的多個孔和(b)每個相鄰的孔之間并至少部分地圍繞每個孔的通道；

在上部晶圓上形成上部間隔件層，所述上部間隔件層具有每個對齊于所述上部晶圓上的多個上部元件的各自一個的多個孔；以及

堆疊所述上部晶圓至所述下部晶圓，使得所述上部間隔件層的至少部分在所述通道內以便，在平行于所述上部晶圓并包括所述下部間隔件層的剖面和所述上部間隔件層的剖面的所述堆疊透鏡組件的任一個剖面中，所述上部間隔件層的剖面的整體在所述下部間隔件層的剖面的內部邊界內。

12.如權利要求11所述的方法，還包括在所述下部晶圓上形成所述多個下部元件。

13.如權利要求12所述的方法，(a)形成所述下部間隔件層和(b)形成所述多個下部元件的步驟在單個步驟中發生。

14.如權利要求11所述的方法，還包括在所述上部晶圓上形成所述多個上部元件。