[發(fā)明專利]冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610982037.8
• 申請日: 2016-11-08
• 公開（公告）號: CN107043918B
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安田淳一;村山吉信;降矢新治
• 申請（專利權(quán)）人: 愛發(fā)科低溫泵株式會(huì)社
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 上海和躍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31239
• 代理人: 余文娟

1.一種冷卻裝置，其具備：

冷卻部；以及

冷卻體，其包括與所述冷卻部連接的第1面和所述第1面相反側(cè)的第2面，所述冷卻體被所述冷卻部冷卻，

所述冷卻體進(jìn)一步包括使氣體在所述第1面與所述第2面之間流動(dòng)的通道，

所述第2面是與冷卻對象相對且將所述冷卻對象冷卻的面，

將所述氣體凝結(jié)的所述第1面的表面粗度比所述第2面的表面粗度小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其中，

所述冷卻體具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀，

所述通道是沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個(gè)冷卻部件的狹縫，

所述多個(gè)冷卻部件具有2種以上的不同的大小。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其中，

所述冷卻體具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀，

所述冷卻體包括沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個(gè)冷卻部件的至少兩個(gè)狹縫，各狹縫作為所述通道而設(shè)置，

所述多個(gè)冷卻部件包括：兩個(gè)端部件，其位于所述冷卻體在所述第2方向上的兩端；以及至少一個(gè)中間部件，其位于所述兩個(gè)端部件之間，

所述兩個(gè)端部件中的至少一個(gè)比所述中間部件小。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其中，

所述冷卻體具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀，

所述冷卻體包括沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個(gè)冷卻部件的至少兩個(gè)狹縫，各狹縫作為所述通道而設(shè)置，

所述多個(gè)冷卻部件包括：兩個(gè)端部件，其位于所述冷卻體在所述第2方向上的兩端；以及至少一個(gè)中間部件，其位于所述兩個(gè)端部件之間，

所述至少一個(gè)中間部件中的至少一個(gè)比所述兩個(gè)端部件的每一個(gè)小。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其中，

所述冷卻體具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀，

所述通道是沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個(gè)冷卻部件的狹縫，

所述多個(gè)冷卻部件具有大致相同的形狀，并且在所述第2方向上等間隔地配置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2-5中任意一項(xiàng)所述的冷卻裝置，其中，

所述多個(gè)冷卻部件中的至少一個(gè)是相對于由所述第1方向和所述第2方向劃定的基準(zhǔn)面傾斜的傾斜部件，

所述傾斜部件在所述第2方向上的一端具有緣，

所述緣與在所述第2方向上相鄰的所述多個(gè)冷卻部件中的一個(gè)重疊。