[發明專利]一種雙面對位的曝光機對位臺

有效

• 申請號: 201610981587.8
• 申請日: 2016-11-09
• 公開（公告）號: CN106990675B
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 張惠光
• 申請（專利權）人: 保定來福光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種雙面對位的曝光機對位臺，包括底座、第一臺板和第二臺板，第一臺板被第一驅動裝置驅動相對于底座運動，第二臺板被第二裝置驅動相對于第一臺板運動，也可以與第一臺板一起同步運動，在第一臺板上安有PCB板支撐架吸附固定件，在第二臺板上安有下菲林框架吸附固定件。該對位臺能夠在不依賴通孔靶點、不翻轉PCB板的情況下將PCB板分別與上下菲林進行對位，而且能夠使體積更加緊湊，針對現有曝光機的有限空間直接替換原有對位機構，將原來需翻轉PCB板進行的兩次單面對位變成不翻轉PCB板的雙面對位。

技術領域

本發明涉及曝光機機械領域，具體而言涉及一種能夠將PCB板上下兩面分別與上菲林和下菲林對齊的曝光機對位臺。

背景技術

曝光機是指通過開啟紫外光裝置，將菲林（印有電路相關信息的底片）上的圖像信息轉移到涂有感光物質的電路板（PCB板）上的設備，現已廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領。將菲林信息轉移到PCB板上時需要將菲林與PCB板進行對位，對準后再進行曝光。現在有一塊菲林與PCB板一側面進行對位的單面對位模式，還有上下兩塊菲林與中間PCB板分別對位的雙面對位模式。在雙面對位模式中，利用PCB板上的通孔和上下菲林的通孔作為對位靶標進行對位，然而，這種選取通孔作為靶標的對位方法只適合PCB板上留有通孔的前期階段，對后期經過防焊工藝后的PCB板，上面已經沒有通孔，因而目前只能選取其上的圓片作為靶點進行單面對位，然后經過翻轉再進行PCB板另一面的單面對位，這就造成操作環節多，工作效率低下。但是限于曝光機中給抬框留出的有限空間，且不論增加的成本，也很難采用在抬框的上下方設置兩套對位臺并分別對上菲林、下菲林和PCB板進行單面對位的模式來實現整體上的雙面對位，因此，在不改變現有曝光機（針對防焊后PCB板曝光）的結構框架和利用現有抬框技術的基礎上，研發新的對位臺，實現在不翻轉PCB板的情況下即能進行雙面對位，是本領域極為期待解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種雙面對位的曝光機對位臺，該對位臺能夠在不依賴通孔靶點、不翻轉PCB板的情況下將PCB板分別與上下菲林進行對位，而且能夠使體積更加緊湊，針對現有曝光機的有限空間直接替換原有對位機構，將原來需翻轉PCB板進行的兩次單面對位變成不翻轉PCB板的雙面對位。

為實現上述目的，本發明采取以下技術方案：

一種雙面對位的曝光機對位臺，包括底座和第一臺板，第一臺板經第一轉動件安裝在第一滑動件上，第一滑動件安裝在底座上，第一滑動件與第一驅動裝置相連，第二臺板經第二滑動件安裝在第一臺板上，第二臺板經傳動連接件與第二驅動裝置相連，第二驅動裝置與第一臺板相固定，在第一臺板上安有PCB板支撐架吸附固定件，在第二臺板上安有下菲林框架吸附固定件。

優選的，所述第二滑動件包括上滾珠、下滾珠和連接梁，所述第二臺板向下經上滾珠與第一臺板相連，所述連接梁一側與第二臺板相連，并且向下穿過第一臺板而使另一側向上經下滾珠與第一臺板相連。

優選的，所述連接梁為U形連接梁，并且在U形連接梁的底部向上連有連接柱，所述U形連接梁的兩上端穿過所述第一臺板與所述第二臺板相連，所述連接柱的上端經所述下滾珠向上與第一臺板相連。

優選的，所述傳動連接件上端與所述第二臺板相固定，下端穿過所述第一臺板，所述第二驅動裝置由第二電機和第二電機驅動的偏心輪組成，所述偏心輪與所述傳動連接件的下端相接觸，傳動連接件下端經彈簧與第二電機的固定座相連。

優選的，所述傳動連接件下端留有軸孔，軸孔內安有轉軸，所述轉軸的兩端分別經所述彈簧與所述第二電機的固定座相連。

優選的，所述第二滑動件有四組，并分布于所述第二臺板相對的兩側，所述傳動連接件和第二驅動裝置有三組，其中兩組位于第二臺板的一側，并均驅動第二臺板在水平橫向運動，另外一組位于第二臺板相對的另一側并驅動第二臺板在水平縱向運動。