[發(fā)明專利]一種雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610981587.8 | 申請(qǐng)日: | 2016-11-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN106990675B | 公開(公告)日: | 2018-06-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張惠光 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 保定來福光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G03F7/20 | 分類號(hào): | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 071700 河北省保*** | 國(guó)省代碼: | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 臺(tái)板 翻轉(zhuǎn) 曝光機(jī) 吸附固定 對(duì)位臺(tái) 對(duì)位 第一驅(qū)動(dòng)裝置 驅(qū)動(dòng) 底座運(yùn)動(dòng) 第二裝置 對(duì)位機(jī)構(gòu) 臺(tái)本發(fā)明 同步運(yùn)動(dòng) 下菲林 支撐架 靶點(diǎn) 底座 菲林 通孔 緊湊 替換 | ||
1.一種雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),包括底座和第一臺(tái)板,第一臺(tái)板經(jīng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)件安裝在第一滑動(dòng)件上,第一滑動(dòng)件安裝在底座上,第一滑動(dòng)件與第一驅(qū)動(dòng)裝置相連,其特征在于,第二臺(tái)板經(jīng)第二滑動(dòng)件安裝在第一臺(tái)板上,第二臺(tái)板經(jīng)傳動(dòng)連接件與第二驅(qū)動(dòng)裝置相連,第二驅(qū)動(dòng)裝置與第一臺(tái)板相固定,在第一臺(tái)板上安有PCB板支撐架吸附固定件,在第二臺(tái)板上安有下菲林框架吸附固定件。
2.如權(quán)利要求1所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述第二滑動(dòng)件包括上滾珠、下滾珠和連接梁,所述第二臺(tái)板向下經(jīng)上滾珠與第一臺(tái)板相連,所述連接梁一側(cè)與第二臺(tái)板相連,并且向下穿過第一臺(tái)板而使另一側(cè)向上經(jīng)下滾珠與第一臺(tái)板相連。
3.如權(quán)利要求2所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述連接梁為U形連接梁,并且在U形連接梁的底部向上連有連接柱,所述U形連接梁的兩上端穿過所述第一臺(tái)板與所述第二臺(tái)板相連,所述連接柱的上端經(jīng)所述下滾珠向上與第一臺(tái)板相連。
4.如權(quán)利要求要求1、2或者3所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述傳動(dòng)連接件上端與所述第二臺(tái)板相固定,下端穿過所述第一臺(tái)板,所述第二驅(qū)動(dòng)裝置由第二電機(jī)和第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)的偏心輪組成,所述偏心輪與所述傳動(dòng)連接件的下端相接觸,傳動(dòng)連接件下端經(jīng)彈簧與第二電機(jī)的固定座相連。
5.如權(quán)利要求4所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述傳動(dòng)連接件下端留有軸孔,軸孔內(nèi)安有轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸的兩端分別經(jīng)所述彈簧與所述第二電機(jī)的固定座相連。
6.如權(quán)利要求1、2、3或者5所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述第二滑動(dòng)件有四組,并分布于所述第二臺(tái)板相對(duì)的兩側(cè),所述傳動(dòng)連接件和第二驅(qū)動(dòng)裝置有三組,其中兩組位于第二臺(tái)板的一側(cè),并均驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)板在水平橫向運(yùn)動(dòng),另外一組位于第二臺(tái)板相對(duì)的另一側(cè)并驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)板在水平縱向運(yùn)動(dòng)。
7.如權(quán)利要求6所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述第二臺(tái)板為“工”字框,并且所述第二滑動(dòng)件、傳動(dòng)連接件和第二驅(qū)動(dòng)裝置均位于“工”字框的兩側(cè)邊框下方,所述下菲林框架吸附固定件有兩組,并分別位于“工”字框的兩側(cè)邊框上方。
8.如權(quán)利要求7所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述第一臺(tái)板由中心臺(tái)板、連接板、擴(kuò)展邊框組成,兩條擴(kuò)展邊框分別經(jīng)連接板連接在中心臺(tái)板上并相互平行,所述中心臺(tái)板經(jīng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件安裝在所述第一滑動(dòng)件上,所述第一滑動(dòng)件安裝在所述底座上,所述“工”字框的兩側(cè)邊框位于所述擴(kuò)展邊框的上方,所述PCB板支撐架吸附固定件安裝在所述中心臺(tái)板上。
9.如權(quán)利要求8所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件為轉(zhuǎn)動(dòng)軸承,所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為第一電機(jī)和絲杠,所述第一滑動(dòng)件由下滑軌、下滑塊、上滑軌和上滑塊組成,下滑軌固定在底座上,下滑塊位于下滑軌上,上滑軌固定在下滑塊上,上滑塊位于上滑軌上,上滑塊與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸承相連,所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件和第一滑動(dòng)件共有四組,分別位于所述中心臺(tái)板的四側(cè),有三側(cè)的第一滑動(dòng)件均分別與絲杠和第一電機(jī)相連,并且相互平行兩側(cè)的下滑塊與絲杠相連,另一側(cè)的上滑塊與絲杠相連。
10.如權(quán)利要求1、2、3、5、7、8或者9所述的雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái),其特征在于,PCB板支撐架吸附固定件由吸附裝置和固定裝置組合而成,固定裝置在兩側(cè)留有銷軸孔。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于保定來福光電科技有限公司,未經(jīng)保定來福光電科技有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610981587.8/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備





