[發(fā)明專利]一種光刻膠保濕系統(tǒng)及其保濕方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610974285.8
• 申請(qǐng)日: 2016-11-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108057573B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程虎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C11/10;G03F7/16
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種光刻膠保濕系統(tǒng)，其特征在于：包括光刻膠罐（1）、供膠部（2）、通斷回吸閥（3）、控制部（4）、回吸閥（5）、升降部（6）、膠臂（7）、膠管（8）、膠嘴（9）及溶劑盒（10），其中膠臂（7）的一端與升降部（6）的輸出端連接，另一端安裝有膠嘴（9），所述膠臂（7）上設(shè)有多根膠管（8）；所述供膠部（2）的進(jìn)口通過(guò)管路與光刻膠罐（1）相連通，出口通過(guò)管路分別與每根所述膠管（8）的進(jìn)口端相連通，并在供膠部（2）出口與膠管（8）進(jìn)口端之間的管路上設(shè)有分別與控制部（4）相連的通斷回吸閥（3）和回吸閥（5）；所述膠臂（7）的另一端安裝有與膠管（8）數(shù)量相同的膠嘴（9），每個(gè)所述膠管（8）的出口端均安裝在一個(gè)膠嘴（9）上，并由該膠嘴（9）向下伸出；或者，所述膠臂（7）的另一端安裝有一個(gè)膠嘴（9），每個(gè)所述膠管（8）的出口端安裝在同一個(gè)膠嘴（9）上，并由這一個(gè)膠嘴（9）向下伸出；所述膠管（8）出口端的下方設(shè)有溶劑盒（10）；所述升降部（6）驅(qū)動(dòng)膠臂（7）、膠嘴（9）及膠管（8）升降，通過(guò)所述控制部（4）控制通斷回吸閥（3）與回吸閥（5）先后動(dòng)作，完成兩次回吸，所述膠管（8）內(nèi)通過(guò)兩次回吸在吸入的溶劑與光刻膠之間有溶劑蒸汽，實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的保濕；

所述溶劑盒（10）的外表面上下安裝有高位傳感器（11）及低位傳感器（12），該低位傳感器（12）的安裝檢測(cè)位置高于膠管（8）出口端隨膠嘴（9）由所述升降部（6）驅(qū)動(dòng)下降插入溶劑盒（10）內(nèi)最低點(diǎn)的位置；

所述升降部（6）上上下安裝有上位傳感器（15）及下位傳感器（16），所述上位傳感器（15）及下位傳感器（16）分別與控制部（4）電連接，所述回吸閥（5）在該下位傳感器（16）檢測(cè)到信號(hào)時(shí)動(dòng)作，所述通斷回吸閥（3）在該上位傳感器（15）檢測(cè)到信號(hào)時(shí)動(dòng)作。

2.按權(quán)利要求1所述的光刻膠保濕系統(tǒng)，其特征在于：所述通斷回吸閥（3）靠近供膠部（2）設(shè)置，所述回吸閥（5）靠近膠管（8）出口端設(shè)置，該通斷回吸閥（3）及回吸閥（5）的動(dòng)作順序通過(guò)所述控制部（4）控制。

3.按權(quán)利要求1所述的光刻膠保濕系統(tǒng)，其特征在于：所述溶劑盒（10）通過(guò)管路連通有溶劑供應(yīng)部（13），并在該管路上安裝有控制所述溶劑盒（10）溶劑供給的通斷閥（14）。

4.按權(quán)利要求3所述的光刻膠保濕系統(tǒng)，其特征在于：所述通斷閥（14）為常閉閥門(mén)，即該通斷閥（14）在不工作的狀態(tài)是關(guān)閉的；所述高位傳感器（11）、低位傳感器（12）及通斷閥（14）分別與控制部（4）電連接，所述低位傳感器（12）給出信號(hào)后，該通斷閥（14）打開(kāi)，所述溶劑供應(yīng)部（13）向溶劑盒（10）內(nèi)供液，所述高位傳感器（11）檢測(cè)到液位給出信號(hào)后，該通斷閥（14）關(guān)閉。

5.一種權(quán)利要求1至4任一權(quán)利要求所述光刻膠保濕系統(tǒng)的保濕方法，其特征在于：所述供膠部（2）向膠管（8）供給光刻膠，當(dāng)該供膠部（2）停止供膠后，所述升降部（6）驅(qū)動(dòng)膠臂（7）帶動(dòng)膠嘴（9）及膠管（8）升起，當(dāng)所述升降部（6）上的上位傳感器（15）給出信號(hào)后，所述控制部（4）控制通斷回吸閥（3）動(dòng)作，進(jìn)行第一次回吸；完成第一次回吸后，所述升降部（6）驅(qū)動(dòng)膠臂（7）帶動(dòng)膠嘴（9）及膠管（8）下降，當(dāng)所述升降部（6）上的下位傳感器（16）給出信號(hào)后，所述控制部（4）控制回吸閥（5）動(dòng)作，進(jìn)行第二次回吸。

6.按權(quán)利要求5所述光刻膠保濕系統(tǒng)的保濕方法，其特征在于：進(jìn)行第一次回吸后，所述膠管（8）內(nèi)吸入一段光刻膠（A），所述升降部（6）驅(qū)動(dòng)膠臂（7）帶動(dòng)膠嘴（9）及膠管（8）下降后，該膠管（8）的出口端浸入所述溶劑盒（10）的溶劑內(nèi)，所述回吸閥（5）動(dòng)作進(jìn)行第二次回吸后，所述膠管（8）內(nèi)吸入一段溶劑（C），在所述光刻膠（A）與溶劑（C）之間留有空間，此空間內(nèi)有溶劑蒸汽，達(dá)到保濕的效果。

7.按權(quán)利要求5所述光刻膠保濕系統(tǒng)的保濕方法，其特征在于：所述膠臂（7）上布置有多個(gè)膠管（8）時(shí)，每個(gè)膠管（8）的進(jìn)口端分別通過(guò)管路與供膠部（2）相連通，膠臂（7）的另一端安裝有與膠管（8）數(shù)量相同的膠嘴（9），每個(gè)所述膠管（8）的出口端由一個(gè)膠嘴（9）伸出，并分別控制伸出的長(zhǎng)度；或每個(gè)所述膠管（8）的出口端安裝在一個(gè)膠嘴（9）上，分別控制伸出的長(zhǎng)度。