[發明專利]一種直寫式絲網制版系統及制版方法在審
| 申請號: | 201610973501.7 | 申請日: | 2016-11-07 |
| 公開(公告)號: | CN108062003A | 公開(公告)日: | 2018-05-22 |
| 發明(設計)人: | 俞慶平 | 申請(專利權)人: | 俞慶平 |
| 主分類號: | G03F7/12 | 分類號: | G03F7/12;G03F7/20 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 安徽省合肥市蜀山區*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 直寫式 絲網 制版 系統 方法 | ||
1.一種直寫式絲網制版系統,用于絲網制版過程中在網板上進行圖形曝光,其特征在于:包括主機(1)、運動系統(2)、光源驅動控制器(3)、光源(4)、可編程數據控制器(5)、空間光調制器(6)、主動聚焦模塊(7)、光學鏡頭(8)、位置誤差修正模塊(9)以及通信模塊(10);
所述運動系統(2)由步進平臺(2-1)、掃描平臺(2-2)以及平臺驅動器(2-3)組成,其中平臺驅動器(2-3)與主機(1)相連并驅動步進平臺(2-1)和掃描平臺(2-2)運動;
所述光源驅動控制器(3)控制所述光源(4)的開關狀態以及光強;
所述可編程數據控制器(5)與主機直接相連(1),在主機(1)的控制下驅動空間光調制器(6)完成曝光任務;
所述主動聚焦模塊(7)控制光學鏡頭(8)與網板間的距離;
所述位置誤差修正模塊(9)接收掃描平臺(2-2)發出的實時位置信號,對實時位置信號進行修正得到精確位置信號,并將精確位置信號輸出至可編程數據控制器(5);
所述通信模塊(10)上行與主機(1)相連,下行與光源驅動控制器(3)以及主動聚焦模塊(7)分別相連。
2.根據權利要求1所述的一種直寫式絲網制版系統,其特征在于:所述主機(1)是個人計算機、服務器或工控機中的一種。
3.根據權利要求1所述的一種直寫式絲網制版系統,其特征在于:所述步進平臺(2-1)承載網板并帶動網板運動,所述掃描平臺(2-2)承載主動聚焦模塊(7)和光學鏡頭(8)并帶動主動聚焦模塊(7)和光學鏡頭(8)運動。
4.根據權利要求1所述的一種直寫式絲網制版系統,其特征在于:所述光源(4)是激光器或LED中的一種。
5.根據權利要求1所述的一種直寫式絲網制版系統,其特征在于:所述可編程數據控制器(5)由隨機存儲器、現場可編程門陣列以及空間光調制器控制芯片組成。
6.根據權利要求5所述的一種直寫式絲網制版系統,其特征在于:所述空間光調制器控制芯片為數字光處理芯片。
7.根據權利要求1所述的一種直寫式絲網制版系統,其特征在于:所述空間光調制器(6)為數字微鏡器件。
8.根據權利要求1所述的一種直寫式絲網制版系統,其特征在于:所述主動聚焦模塊(7)由高速電機、位置傳感器和主動聚焦控制器組成。
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