[發明專利]金屬掩模材料和金屬掩模有效
| 申請號： | 201610963957.5 | 申請日： | 2016-11-04 |
| 公開（公告）號： | CN106917063B | 公開（公告）日： | 2019-04-02 |
| 發明（設計）人： | 近藤祐幸 | 申請（專利權）人： | JX金屬株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭煜;魯煒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬掩模 軋制垂直方向 軋制平行方向 軋制板 合金 算術平均粗糙度 精度檢測 蝕刻加工 光澤度 總計 | ||
【權利要求書】：
1.金屬掩模材料，其由Fe-Ni系合金的軋制板形成，所述Fe-Ni系合金的軋制板包含總計30~45質量%的Ni和Co，其中含有0~6質量%的Co，且剩余部分由Fe和無法避免的雜質構成，
厚度t大于0.08mm且為0.25mm以下，
沿軋制平行方向和軋制垂直方向按照JIS-B0601測定的算術平均粗糙度Ra為0.01~0.20μm，
并且，沿軋制平行方向和軋制垂直方向按照JIS-Z8741測定的60度光澤度G60為200~600。
2.金屬掩模，其使用權利要求1所述的金屬掩模材料得到。
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