[發明專利]單晶生長爐熱屏及其制造方法在審
| 申請號： | 201610959752.X | 申請日： | 2016-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN108018600A | 公開（公告）日： | 2018-05-11 |
| 發明（設計）人： | 趙向陽;陳強;肖祥凱 | 申請（專利權）人： | 上海新昇半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 生長 爐熱屏 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種單晶生長爐熱屏，包括屏體，所述屏體內形成有容置空間，其特征在于，所述屏體的材料為石英玻璃。
2.如權利要求1所述的單晶生長爐熱屏，其特征在于，所述屏體的外表面和內表面涂有氫氧化鋇涂層。
3.如權利要求2所述的單晶生長爐熱屏，其特征在于，所述氫氧化鋇涂層采用含有結晶水的氫氧化鋇。
4.如權利要求2所述的單晶生長爐熱屏，其特征在于，所述屏體內填充有隔熱材料，形成有隔熱層。
5.如權利要求4所述的單晶生長爐熱屏，其特征在于，所述隔熱層的材料為固態碳氈。
6.一種制造單晶生長爐熱屏的方法，包括：
采用石英材料形成屏體。
7.如權利要求6所述的制造單晶生長爐熱屏的方法，其特征在于，所述屏體的外表面和內表面涂有氫氧化鋇涂層。
8.如權利要求7所述的制造單晶生長爐熱屏的方法，其特征在于，所述氫氧化鋇涂層采用含有結晶水的氫氧化鋇。
9.如權利要求6所述的制造單晶生長爐熱屏的方法，其特征在于，所述屏體內填充有隔熱材料，形成有隔熱層。
10.如權利要求9所述的制造單晶生長爐熱屏的方法，其特征在于，所述隔熱層的材料是固態碳氈。
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