[發明專利]壓電致動器、層疊致動器、壓電馬達、機器人以及機械手

有效

• 申請號: 201610959198.5
• 申請日: 2016-11-03
• 公開（公告）號: CN106849741B
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 荒川豐
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02;H02N2/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;青煒

1.一種壓電致動器，其中，具備：

兩個基板；

壓電元件，所述壓電元件配置于所述兩個基板之間；以及

覆蓋部，所述覆蓋部覆蓋所述壓電元件的至少一部分，

所述基板具有振動部以及支承所述振動部的支承部，

所述壓電元件設置于所述振動部，

所述壓電致動器具備：

布線層，所述布線層被配置成連接所述振動部和所述支承部；以及

電路基板，所述電路基板與所述布線層電連接，并與所述支承部連接。

2.一種壓電致動器，其中，具備：

兩個基板，所述兩個基板被配置為在俯視視角下至少有一部分重疊；

壓電元件，所述壓電元件分別配置于在所述俯視視角下所述兩個基板重疊的區域中的、所述兩個基板彼此相向側的面上；以及

覆蓋部，所述覆蓋部覆蓋兩個所述壓電元件的各自的至少一部分，

所述基板具有振動部以及支承所述振動部的支承部，

兩個所述壓電元件設置于所述振動部，

所述壓電致動器具備：

布線層，所述布線層被配置成連接所述振動部和所述支承部；以及

電路基板，所述電路基板與所述布線層電連接，并與所述支承部連接。

3.根據權利要求2所述的壓電致動器，其中，

在兩個所述覆蓋部之間配置有粘接層。

4.根據權利要求2所述的壓電致動器，其中，

所述覆蓋部覆蓋所述壓電元件的整體。

5.根據權利要求2或4所述的壓電致動器，其中，

所述覆蓋部覆蓋所述支承部的周圍的至少一部分。

6.根據權利要求2至4中任一項所述的壓電致動器，其中，

在所述振動部的前端具有突出的區域。

7.根據權利要求5所述的壓電致動器，其中，

在所述振動部的前端具有突出的區域。

8.一種層疊致動器，其中，

層疊有多個權利要求1至7中任一項所述的壓電致動器。

9.一種壓電馬達，其中，具備：

權利要求1至7中任一項所述的壓電致動器或者權利要求8所述的層疊致動器。

10.一種機器人，其中，具備：

權利要求9所述的壓電馬達。

11.一種機械手，其中，具備：

權利要求9所述的壓電馬達。

12.一種送液泵，其中，具備：

權利要求9所述的壓電馬達。