[發(fā)明專利]壓電致動(dòng)器、層疊致動(dòng)器、壓電馬達(dá)、機(jī)器人以及機(jī)械手

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610959198.5
• 申請(qǐng)日: 2016-11-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106849741B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 荒川豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H02N2/02
• 分類號(hào): H02N2/02;H02N2/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;青煒

本發(fā)明提供一種壓電致動(dòng)器、層疊致動(dòng)器、壓電馬達(dá)、機(jī)器人、機(jī)械手。壓電致動(dòng)器(10)具備兩個(gè)基板(200)；配置于兩個(gè)基板(200)之間的壓電元件(110a～110e)；以及覆蓋壓電元件110a～110e的周圍的至少一部分的覆蓋部(260)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓電致動(dòng)器以及使用該壓電致動(dòng)器的各種裝置。

背景技術(shù)

已知在墊片材料的兩個(gè)面粘接壓電體，且該壓電體的周圍用樹(shù)脂覆蓋的壓電致動(dòng)器(例如，專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2006-80318號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)1的壓電致動(dòng)器由于壓電體處于墊片材料的兩面(外側(cè))，有可能受到外部損傷。特別是在將壓電體設(shè)為薄膜的情況下，由于壓電體受到外部損傷，存在其功能受損的可能性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明就是為了解決上述問(wèn)題而完成的，能夠作為以下方式實(shí)現(xiàn)。

(1)根據(jù)本發(fā)明的一方式，提供一種壓電致動(dòng)器。該壓電致動(dòng)器具備：兩個(gè)基板；壓電元件，上述壓電元件配置于上述兩個(gè)基板之間；以及覆蓋部，上述覆蓋部覆蓋上述壓電元件的至少一部分。根據(jù)該方式，壓電元件被兩個(gè)基板和覆蓋部保護(hù)，因此難以受到外部損傷。

(2)根據(jù)本發(fā)明的一方式，提供一種壓電致動(dòng)器。該壓電致動(dòng)器具備：兩個(gè)基板，上述兩個(gè)基板被配置為在俯視視角下至少有一部分重疊；壓電元件，上述壓電元件分別配置于在上述俯視視角下上述兩個(gè)基板重疊的區(qū)域中的、上述兩個(gè)基板彼此相向側(cè)的面上；以及覆蓋部，上述覆蓋部覆蓋上述兩個(gè)壓電元件的各自的至少一部分。根據(jù)該方式，壓電元件由覆蓋部覆蓋，并且分別配置于至少一部分重疊地配置的兩個(gè)基板的彼此相向側(cè)的面上，因此，也由兩個(gè)基板保護(hù)，從而難以受到外部損傷。

(3)在上述方式中，也可以在上述兩個(gè)覆蓋部之間配置粘接層。根據(jù)該方式，由于在兩個(gè)覆蓋部之間配置粘接層，所以兩個(gè)覆蓋部難以剝離，壓電元件容易被保護(hù)。

(4)在上述方式中，也可以構(gòu)成為，上述基板具有振動(dòng)部以及支承上述振動(dòng)部的支承部，上述兩個(gè)壓電元件設(shè)置于上述振動(dòng)部。根據(jù)該方式，能夠減少支承部的振動(dòng)，并且能夠提高基板的強(qiáng)度。

(5)在上述方式中，也可以構(gòu)成為，上述覆蓋部覆蓋上述壓電元件的整體。根據(jù)該方式，覆蓋部覆蓋壓電元件的整體，因此壓電元件容易被保護(hù)。

(6)在上述方式中，也可以構(gòu)成為，上述覆蓋部覆蓋上述支承部的周圍的至少一部分。根據(jù)該方式，上述覆蓋部覆蓋上述支承部的周圍的至少一部分，因此也能夠保護(hù)支承部。

(7)在上述方式中，也可以構(gòu)成為，在上述振動(dòng)部的前端具有突出的區(qū)域。根據(jù)該方式，能夠使用突出的區(qū)域?qū)⒄駝?dòng)部的振動(dòng)傳遞至其他的部件。

(8)在上述方式中，也可以構(gòu)成為，上述壓電致動(dòng)器具備：布線層，上述布線層被配置成連接上述振動(dòng)部和上述支承部；以及電路基板，上述電路基板與上述布線層電連接，并與上述支承部連接。由于電路基板與支承部連接，所以電路基板難以受到振動(dòng)部的振動(dòng)的影響。

(9)根據(jù)本發(fā)明的一方式，提供一種層疊致動(dòng)器。該層疊致動(dòng)器層疊有多個(gè)上述方式的任一個(gè)所記載的壓電致動(dòng)器。根據(jù)該方式，能夠較大地產(chǎn)生層疊致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力。

本發(fā)明能夠以各種方式實(shí)現(xiàn)，例如，除了壓電致動(dòng)器、層疊致動(dòng)器之外，還能夠以具備壓電致動(dòng)器或者層疊致動(dòng)器的壓電馬達(dá)、具備壓電馬達(dá)的機(jī)器人、機(jī)械手、送液泵等各種方式實(shí)現(xiàn)。

附圖說(shuō)明

圖1A是示出壓電致動(dòng)器的概要結(jié)構(gòu)的主視圖。

圖1B是壓電致動(dòng)器的截面圖。

圖1C是壓電致動(dòng)器的側(cè)視圖。

圖2A是壓電致動(dòng)器單元的俯視圖。