[發明專利]自動進料系統及進料方法在審

申請號：	201610953027.1	申請日：	2016-11-03
公開（公告）號：	CN108018602A	公開（公告）日：	2018-05-11
發明（設計）人：	汪燕;劉源	申請（專利權）人：	上海新昇半導體科技有限公司
主分類號：	C30B15/02	分類號：	C30B15/02;C30B29/06
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237	代理人：	余昌昊
地址：	201306 上海***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	自動進料系統方法
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【說明書】：

本發明提供了一種自動進料系統及進料方法，通過進料口向坩堝內進行填料，并且在填料過程中，通過液壓缸的上下運動使所述坩堝產生搖擺，令所述坩堝中所填的料分布均勻。進一步的，監控裝置對稱重稱的讀數進行監測以控制該填料過程，若填料過程完成，關閉所述進料口，控制所述坩堝和/或所述多個進料口相對移動使所述坩堝對位于下一個進料口，繼續向所述坩堝內填料。本發明提供的自動進料系統及進料方法能夠避免人工填料時因操作不當造成坩堝破裂以及所填的料容易被雜質金屬污染的問題。

技術領域

本發明涉及晶圓制造技術領域，特別涉及一種自動進料系統及進料方法。

背景技術

單晶硅拉晶爐所使用的坩堝單次裝填多晶硅的重量在300KG左右，并且所裝填的多晶硅為高純度多晶硅，常見的多晶硅根據尺寸可分為：小型多晶硅、中型多晶硅和大型多晶硅。

為了增加坩堝內部的空間利用率，往往需要按照一定規則人工將多晶硅置入坩堝內部，一般將中型多晶硅置于底部，大型多晶硅置于中間，小型多晶硅置于頂部，并且在坩堝內放置均勻，再對坩堝進行加熱融化其內部的單晶硅。如將大型多晶硅置于頂部，在對其進行融化的過程中，中型多晶硅和小型多晶硅會率先溶解成液體，大型多晶硅由于尺寸較大將最后被溶解，因此會從坩堝頂部直接落至坩堝底部，造成坩堝破裂。而目前采取的人工裝填多晶硅的方式主要面臨如下幾個問題：

根據操作人員熟程度不同，坩堝的空間利用率不同，若裝填不致密，將導致空間利用率下降；

在裝填多晶硅的過程中，易發生誤操作使多晶硅掉落至坩堝底部造成坩堝破裂；

若操作不當，多晶硅容易被鈉、鉀等雜質金屬污染。

發明內容

本發明的目的在于提供一種自動進料系統及進料方法，以解決現有的人工填料方式容易發生誤操作，使所填料掉落至坩堝底部造成坩堝破裂以及容易被雜質金屬污染的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種自動進料系統，包括稱重稱、坩堝以及多個進料口；其中，所述坩堝設置于所述稱重稱上；所述稱重稱和所述多個進料口之間能夠相對移動，以使所述多個進料口分時對位于設置在所述稱重稱上的所述坩堝。

可選的，在所述自動進料系統中，還包括監控裝置，用于監測所述稱重稱的讀數并控制所述稱重稱和/或所述多個進料口的相對移動。

可選的，在所述自動進料系統中，所述稱重稱和/或所述多個進料口是通過傳送裝置進行相對移動。

可選的，在所述自動進料系統中，所述坩堝是通過襯鍋設置于所述稱重稱上。

可選的，在所述自動進料系統中，所述襯鍋和所述稱重稱之間用彈性裝置連接。

可選的，在所述自動進料系統中，所述彈性裝置為彈簧和多個液壓缸。

可選的，在所述自動進料系統中，所述多個液壓缸的數量為4組。