[發(fā)明專(zhuān)利]自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)及進(jìn)料方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610953027.1
• 申請(qǐng)日: 2016-11-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108018602A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪燕;劉源
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/02
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/02;C30B29/06
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 余昌昊

1.一種自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)包括：稱(chēng)重稱(chēng)、坩堝以及多個(gè)進(jìn)料口；其中，所述坩堝設(shè)置于所述稱(chēng)重稱(chēng)上；所述稱(chēng)重稱(chēng)和所述多個(gè)進(jìn)料口之間能夠相對(duì)移動(dòng)，以使所述多個(gè)進(jìn)料口分時(shí)對(duì)位于設(shè)置在所述稱(chēng)重稱(chēng)上的所述坩堝。

2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)還包括監(jiān)控裝置，用于監(jiān)測(cè)所述稱(chēng)重稱(chēng)的讀數(shù)并控制所述稱(chēng)重稱(chēng)和/或所述多個(gè)進(jìn)料口的相對(duì)移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述稱(chēng)重稱(chēng)和/或所述多個(gè)進(jìn)料口是通過(guò)傳送裝置進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。

4.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述坩堝是通過(guò)襯鍋設(shè)置于所述稱(chēng)重稱(chēng)上。

5.如權(quán)利要求4所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述襯鍋和所述稱(chēng)重稱(chēng)之間用彈性裝置連接。

6.如權(quán)利要求5所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述彈性裝置為彈簧和多個(gè)液壓缸。

7.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)液壓缸的數(shù)量為4組。

8.如權(quán)利要求7所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述4組液壓缸能夠做上下運(yùn)動(dòng)使坩堝產(chǎn)生搖擺。

9.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，多個(gè)所述進(jìn)料口的材料是石英。

10.如權(quán)利要求9所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)進(jìn)料口能夠打開(kāi)和關(guān)閉。

11.如權(quán)利要求10所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)進(jìn)料口能夠做伸縮運(yùn)動(dòng)。

12.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)，其特征在于，所述坩堝的材料是石英。

13.一種進(jìn)料方法，其特征在于，包括如下步驟：

在向所述坩堝內(nèi)填料的過(guò)程中，監(jiān)控裝置監(jiān)測(cè)稱(chēng)重稱(chēng)的讀數(shù)，判斷填料過(guò)程是否完成；

若所述填料過(guò)程完成，所述監(jiān)控裝置控制所述進(jìn)料口關(guān)閉，控制所述坩堝和/或所述多個(gè)進(jìn)料口相對(duì)移動(dòng)使所述坩堝對(duì)位于下一個(gè)進(jìn)料口，向所述坩堝內(nèi)繼續(xù)填料。

14.如權(quán)利要求9所述的進(jìn)料方法，其特征在于，在向所述坩堝內(nèi)填料的同時(shí)，多個(gè)液壓缸做上下運(yùn)動(dòng)使所述坩堝產(chǎn)生搖擺。