[發明專利]物理量檢測振動片、物理量檢測裝置、電子設備及移動體

有效

• 申請號: 201610947746.2
• 申請日: 2016-10-26
• 公開（公告）號: CN106969760B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 石井昌宏;山口啓一;菊池尊行
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656;G01C19/5649
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

本發明提供一種物理量檢測振動片、物理量檢測裝置、電子設備及移動體。振動片(1)具有：檢測臂(221)，其沿著Z軸方向進行驅動振動，且通過被施加角速度而沿著X軸方向進行檢測振動；第一電極部(331)、第二電極部(332)、第三電極部(341)、第四電極部(342)以及第一接地電極部(351)、第二接地電極部(352)、第三接地電極部(353)、第四接地電極部(354)，它們被配置在檢測臂(221)上。并且，第一電極部(331)與第一接地電極部(351)之間所產生的信號和第二電極部(332)與第二接地電極部(352)之間所產生的信號在驅動振動時為反相，在檢測振動時為同相。此外，第三電極部(341)與第三接地電極部(353)之間所產生的信號和第四電極部(342)與第四接地電極部(354)之間所產生的信號在驅動振動時為反相，在檢測振動時為同相。

技術領域

本發明涉及一種物理量檢測振動片、物理量檢測裝置、電子設備以及移動體。

背景技術

一直以來，作為角速度檢測振動片，而已知有專利文獻1所記載的結構。專利文獻1所記載的物理量檢測振動片具有：基部；從基部起向Y軸方向兩側延伸的一對檢測臂；從基部起向X軸方向兩側延伸的一對連結臂；從一個連結臂起向Y軸方向兩側延伸的一對驅動臂；從另一個連結臂起朝向Y軸方向兩側延伸的一對驅動臂。在這種角速度檢測振動片中，各個驅動臂進行傾斜振動(包括X軸方向的振動成分和Z軸方向的振動成分在內的振動)，并能夠獨立地對繞Z軸的角速度和繞Y軸的角速度進行檢測。具體而言，在將從一個檢測臂的檢測電極而獲取的檢測信號設為“第一檢測信號Sa”，將從另一個檢測臂的檢測電極而獲取的檢測信號設為“第二檢測信號Sb”時，能夠通過Sa-Sb而對繞Z軸的角速度進行檢測，相反，能夠通過Sa+Sb而對繞Y軸的角速度進行檢測。

但是，實際上，在第一檢測信號Sa中，混入有例如因與驅動電極的電容耦合而引起的噪聲Na，同樣，在第二檢測信號Sb中，也混入有例如因與驅動電極的電容耦合而引起的噪聲Nb。因此，如前所述，為了對繞Z軸的角速度進行檢測，只要實施Sa-Sb的運算處理，即，從Sa減去Sb的處理，就能夠消除噪聲Na、Nb，從而減小噪聲，但是，相反，為了對繞Y軸的角速度進行檢測，如果實施Sa+Sb的運算，則會使噪聲Na、Nb相加，而導致噪聲增大。如此，在專利文獻1的角速度檢測振動片中，存在有無法高精度地對繞Z軸的角速度以及繞Y軸的角速度一起進行檢測的問題。

專利文獻1：日本號特開2013-190304公報

發明內容

本發明的目的在于，提供一種能夠發揮優異的物理量檢測靈敏度的物理量檢測振動片、物理量檢測裝置、電子設備以及移動體。

本發明是為了解決上述課題中的至少一部分而做成的發明，并能夠作為以下的方式或應用例來實現。

本應用例所涉及的物理量檢測振動片的特征在于，具有：檢測臂，其包括壓電體，并沿著第一方向進行驅動振動，且通過被施加物理量而沿著與所述第一方向正交的第二方向進行檢測振動；第一檢測信號電極、第二檢測信號電極以及基準電位電極，其被配置在所述檢測臂上，所述第一檢測信號電極具有第一電極部和第二電極部，所述第二檢測信號電極具有第三電極部和第四電極部，所述基準電位電極具有：相對于所述第一電極部而成為基準電位的第一基準電位電極部；相對于所述第二電極部而成為基準電位的第二基準電位電極部；相對于所述第三電極部而成為基準電位的第三基準電位電極部；相對于所述第四電極部而成為基準電位的第四基準電位電極部，所述第一電極部與所述第一基準電位電極部之間所產生的信號和所述第二電極部與所述第二基準電位電極部之間所產生的信號，在所述驅動振動時為反相，在所述檢測振動時為同相，所述第三電極部與所述第三基準電位電極部之間所產生的信號和所述第四電極部與所述第四基準電位電極部之間所產生的信號，在所述驅動振動時為反相，在所述檢測振動時為同相。

由此，成為能夠有效地降低混入在檢測信號中的噪聲，并能夠發揮優異的物理量檢測靈敏度的物理量檢測振動片。