[發明專利]物理量檢測振動片、物理量檢測裝置、電子設備及移動體

有效

• 申請號: 201610947746.2
• 申請日: 2016-10-26
• 公開（公告）號: CN106969760B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 石井昌宏;山口啓一;菊池尊行
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656;G01C19/5649
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

1.一種物理量檢測振動片，其特征在于，具有：

檢測臂，其包括壓電體，并沿著第一方向進行驅動振動，且通過被施加物理量而沿著與所述第一方向正交的第二方向進行檢測振動；

第一檢測信號電極、第二檢測信號電極以及基準電位電極，其被配置在所述檢測臂上，

所述第一檢測信號電極具有第一電極部和第二電極部，

所述第二檢測信號電極具有第三電極部和第四電極部，

所述基準電位電極具有：

相對于所述第一電極部而成為基準電位的第一基準電位電極部；

相對于所述第二電極部而成為基準電位的第二基準電位電極部；

相對于所述第三電極部而成為基準電位的第三基準電位電極部；

相對于所述第四電極部而成為基準電位的第四基準電位電極部，

所述第一電極部與所述第一基準電位電極部之間所產生的信號和所述第二電極部與所述第二基準電位電極部之間所產生的信號在所述驅動振動時為反相，在所述檢測振動時為同相，

所述第三電極部與所述第三基準電位電極部之間所產生的信號和所述第四電極部與所述第四基準電位電極部之間所產生的信號在所述驅動振動時為反相，在所述檢測振動時為同相，

所述檢測臂具有：

檢測臂第一主面，其被配置在所述第一方向的一側；

檢測臂第二主面，其被配置在所述第一方向的另一側；

檢測臂第一槽部，其在所述檢測臂第一主面上開放；

檢測臂第二槽部，其在所述檢測臂第二主面上開放，

所述第一電極部被配置在所述檢測臂第一槽部處，

所述第二電極部被配置在所述檢測臂第二槽部處，

所述第三電極部以及所述第四電極部被配置在所述檢測臂的所述第二方向的一側的側面處。

2.如權利要求1所述的物理量檢測振動片，其中，

所述檢測臂具有：

第一突出部，其朝向所述第一方向的一側而突出；

第二突出部，其朝向所述第一方向的另一側而突出；

第三突出部，其相對于所述第一突出部而位于所述第二方向的一側，并朝向所述第一方向的所述一側而突出；

第四突出部，其相對于所述第二突出部而位于所述第二方向的所述一側，并朝向所述第一方向的所述另一側而突出，

所述第一電極部以及所述第一基準電位電極部以將所述第一突出部夾在中間的方式被配置，

所述第二電極部以及所述第二基準電位電極部以將所述第二突出部夾在中間的方式被配置，

所述第三電極部以及所述第三基準電位電極部以將所述第三突出部夾在中間的方式被配置，

所述第四電極部以及所述第四基準電位電極部以將所述第四突出部夾在中間的方式被配置。

3.如權利要求1所述的物理量檢測振動片，其中，

具有：

一對驅動臂，其以隔著所述檢測臂的方式被配置；

基部，其與所述檢測臂以及所述驅動臂連接。

4.如權利要求3所述的物理量檢測振動片，其中，

所述檢測臂以隔著所述基部的方式至少被配置有兩個。

5.如權利要求1所述的物理量檢測振動片，其中，

在將與所述第一方向以及所述第二方向正交的方向設為第三方向時，所述物理量檢測振動片具有：

基部；

一對所述檢測臂，其從所述基部起互相向所述第三方向的相反側延伸；

一對連結臂，其從所述基部起互相向所述第二方向的相反側延伸；

一對驅動臂，其從一個所述連結臂起互相向所述第三方向的相反側延伸；

一對驅動臂，其從另一個所述連結臂起互相向所述第三方向的相反側延伸。

6.如權利要求5所述的物理量檢測振動片，其中，

具有：

第一錘部，其被設置在一個所述檢測臂的所述第一方向的一側的面上；

第二錘部，其被設置在另一個所述檢測臂的所述第一方向的另一側的面上。