[發明專利]板的布線圖案檢查裝置及布線圖案檢查方法

在審

• 申請號: 201610941727.9
• 申請日: 2016-10-25
• 公開（公告）號: CN107564827A
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 金振烈
• 申請（專利權）人: 羅澤系統株式會社
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 楊文娟,臧建明

技術領域

本發明涉及板的布線圖案檢查裝置及布線圖案檢查方法，尤其涉及一種對形成于平面TV用玻璃(Glass)板的柵極布線及數據布線等布線圖案進行電子檢查，即能夠檢查有無斷開(Open)及短路(Short)的板的布線圖案檢查裝置及布線圖案檢查方法。

背景技術

通常，等離子顯示板(Plasma Display Panel，PDP)、液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)、有機發光顯示器(OLED)等平面TV用玻璃板的表面具有形成數據布線與柵極布線的電極圖案。

通常，以42英寸的PDP為例，一個電極圖案的布線寬度與布線距離分別是50μm及300μm，而線長則達到1m，因此形成電極圖案的工序乃至后續反復進行的熱處理等制造過程中頻繁發生布線斷開(Open)或與相鄰的布線連接(Short)的情況。

因此，在制造過程中檢查形成的布線圖案有無缺陷是提高成品率所必不可少的過程。

通常用測試針模塊檢查上述布線圖案的電子特性，用測試針模塊檢查是指將測試針模塊的多個探針接入布線圖案的兩端的狀態下，從饋電部向布線圖案提供檢查信號，受電部在接收該檢查信號的同時橫穿多個布線移動進行檢查。

然而，上述的現有檢查是從饋電部施加使用一個頻率的檢查信號并由具有配置成一列的傳感器的受電部處理一個頻率的方式，因此具有對缺陷的檢測力不準確的問題。

以下參見圖1說明形成于玻璃板的一般布線圖案的結構。

圖1為顯示形成于一般的玻璃板的布線圖案的示意圖。

參見圖1，一般的布線圖案200可包括用于接觸探針的多個墊片部210、連接于所述墊片部210的有源區域(Active area)的布線圖案220、連接于所述有源區域的布線圖案220將輸出分配到他處的扇出區域(Fan out area)的布線圖案230。此處，形成于所述有源區域的多個布線圖案220水平形成且彼此具有預定間隔，而形成于所述扇出區域的布線圖案230則為了向他處分配輸出而具有彼此相鄰的布線圖案230的間隔向玻璃板20的末端部側逐漸減小至預定距離后，彼此相鄰的布線圖案230再彼此具有預定間隔的水平結構。

如上，一般的玻璃板20的布線圖案200檢查方法利用向所述墊片部210施加具有特定頻率的信號，由形成一列的傳感器處理所述信號的方式檢查布線斷開(Open)或與相鄰的布線連接(Short)的布線圖案200的缺陷。然而，由于上述的現有布線圖案檢查方法只使用一個頻率，因此對布線圖案200的缺陷(斷開、短路)的檢測力不準確的缺點。

為解決這種問題，韓國公開專利10-2007-0111330號，′基板檢查裝置及基板檢查方法′所公開的基板檢查裝置具有：配置成不接觸布線且施加檢查信號的第一電極部、配置成不接觸布線且施加檢查信號的第二電極部、配置成不接觸與該布線的一側相鄰的布線且施加檢查信號的第三電極部、配置成不接觸與該布線的另一側相鄰的布線且施加檢查信號的第四電極部、向第一電極部與第二電極部施加第一檢查信號的第一信號提供部件、向第三電極部與第四電極部施加具有與第一檢查信號不同的頻率的第二檢查信號的第二信號提供部件、檢測布線的電壓的檢測部件、根據檢測部件檢測的電壓的相位判斷檢查對象的布線良否的判定部件，通過向一個布線施加第一檢查信號檢測該線是否斷開(Open)，向與所述一個布線相鄰的兩側布線施加具有不同于所述第一檢查信號的頻率的第二檢查信號，檢查是否與相鄰的布線發生了短路(Short)。

然而，雖然這種檢查容易檢查平板顯示器的數據布線的斷開或數據布線之間的短路或柵極布線的斷開或柵極布線之間的短路，但不容易檢查數據布線與柵極布線之間的短路。

【現有技術文獻】【專利文獻】

(專利文獻0001)韓國公開專利10-2007-0111330

發明內容

技術問題

因此，本發明要解決的技術問題是提供一種不僅能夠檢查數據布線之間、柵極布線之間的缺陷(斷開、短路)，還能夠提高對數據布線及柵極布線之間的缺陷的檢測力的板的布線圖案檢查裝置及布線圖案檢查方法。

技術方案

根據本發明一個實施例的布線圖案的檢查裝置，其對包括柵極布線及數據布線的布線圖案執行電子檢查，包括饋電部及受電部。所述饋電部同時向形成于板的布線圖案施加具有至少兩個不同頻率的多個電子信號。所述受電部能夠接收從所述饋電部施加后通過所述布線圖案傳輸的電子信號以檢測所述布線圖案的缺陷。