[發明專利]一種全對稱U形梁MEMS環形振動陀螺諧振子結構有效
| 申請號： | 201610918610.9 | 申請日： | 2016-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN106289215B | 公開（公告）日： | 2019-03-05 |
| 發明（設計）人： | 劉俊;曹慧亮;寇志偉;石云波;連樹仁;馮恒振;唐軍 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G01C19/5684 | 分類號： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 對稱 形梁 mems 環形 振動 陀螺 諧振子 結構 | ||
【說明書】：
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