[發(fā)明專利]一種全對(duì)稱U形梁MEMS環(huán)形振動(dòng)陀螺諧振子結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610918610.9 | 申請(qǐng)日: | 2016-10-21 |
| 公開(公告)號(hào): | CN106289215B | 公開(公告)日: | 2019-03-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉俊;曹慧亮;寇志偉;石云波;連樹仁;馮恒振;唐軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中北大學(xué) |
| 主分類號(hào): | G01C19/5684 | 分類號(hào): | G01C19/5684 |
| 代理公司: | 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所(普通合伙) 14100 | 代理人: | 朱源;王勇 |
| 地址: | 030051 山*** | 國(guó)省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 對(duì)稱 形梁 mems 環(huán)形 振動(dòng) 陀螺 諧振子 結(jié)構(gòu) | ||
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G01C 測(cè)量距離、水準(zhǔn)或者方位;勘測(cè);導(dǎo)航;陀螺儀;攝影測(cè)量學(xué)或視頻測(cè)量學(xué)
G01C19-00 陀螺儀;使用振動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置;不帶有運(yùn)動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置
G01C19-02 .旋轉(zhuǎn)式陀螺儀
G01C19-56 .使用振動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置,例如基于科里奧利力的振動(dòng)角速度傳感器
G01C19-58 .不帶有運(yùn)動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)敏感裝置
G01C19-60 ..電子磁共振或核磁共振陀螺測(cè)量?jī)x
G01C19-64 ..利用薩格萘克效應(yīng),即利用逆向旋轉(zhuǎn)的兩電磁束之間旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生位移的陀螺測(cè)量?jī)x





