[發明專利]抗蝕劑剝離液組合物、平板及其制造方法和顯示裝置

有效

• 申請號: 201610916985.1
• 申請日: 2016-10-20
• 公開（公告）號: CN107239006B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 高京俊;金正鉉;崔漢永
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;陳彥

1.一種抗蝕劑剝離液組合物，其包含(a)下述化學式1所表示的化合物和(b)堿系化合物，并且選擇性地進一步包含所述(a)成分和(b)成分以外的(c)其他成分，

[化學式1]

所述化學式1中，n為1～3的整數；

R₁和R₂各自獨立地為氫、C1～C10的烷基，或者為包含1～5個氧原子和2～10個碳原子且氧原子和碳原子形成醚鍵的基團；

R₃和R₄不存在，或者各自獨立地為C1～C5的烷氧基；C6～C12的芳基；被氨基或C1～C5的烷基取代或非取代的C6～C12的芳氧基；羥基；-CN；或氨基。

2.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，相對于組合物總重量，包含所述(a)化學式1所表示的化合物10～99.9重量％、(b)堿系化合物0.1～20重量％、及(c)其他成分0～70重量％。

3.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，所述(a)化學式1所表示的化合物為選自由雙(2-乙氧基乙氧基)甲烷、雙(2-甲氧基乙氧基)甲烷、雙(2-丁氧基乙氧基)甲烷、1,13-二乙氧基-3,6,8,11-四氧雜-十三烷、1,13-二甲氧基-3,6,8,11-四氧雜-十三烷、甲醛[雙-(2-苯氧基乙基)乙縮醛]、4-(2-((2-乙氧基乙氧基)甲氧基)乙氧基)苯胺、甲醛[雙(2-鄰甲苯氧基乙基)乙縮醛]、2,4,7,9,12,14-六氧雜十五烷、3,6,9,12,15,18,21,24-八氧雜二十五烷醇、甲醛[雙(2-異丙氧基乙基)乙縮醛]、4,4’-(2,2’-亞甲基雙(氧基)雙(乙烷-2,1-二基)雙(氧基))二苯胺、4,7,9,12,14,17-六氧雜二十烷-1,20-二腈、1-苯基-2,5,7,10-四氧雜十一烷和3,6,8,11-四氧雜十三烷-1,13-二胺組成的組中的一種以上。

4.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，所述(b)堿系化合物是選自由KOH、NaOH、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、碳酸鹽、磷酸鹽、氨和胺類組成的組中的一種或兩種以上。

5.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，進一步包含選自水溶性極性溶劑和水中的一種以上作為所述(c)其他成分。

6.根據權利要求5所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，相對于組合物總重量，包含所述(a)化學式1所表示的化合物10～98重量％、(b)堿系化合物0.1～20重量％、及余量的作為(c)其他成分的選自水溶性極性溶劑和水中的一種以上。

7.根據權利要求5所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，所述水溶性極性溶劑單獨或混合使用除了多元醇以外的質子性極性溶劑和非質子性極性溶劑。

8.一種顯示裝置用平板的制造方法，其特征在于，包括使用權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物來剝離平板用基板的抗蝕劑的工序。