[發(fā)明專利]激光器的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610908774.3
• 申請日: 2016-10-18
• 公開（公告）號: CN107959225B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 方瑞禹
• 申請（專利權(quán)）人: 青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01S5/32
• 分類號: H01S5/32
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 張洋;黃健

本發(fā)明提供一種激光器的制造方法，包括：在襯底上生長有源層；對有源層和襯底進行刻蝕，以形成凸出的且具有設(shè)定間隔距離的兩個臺面；在兩個臺面的兩側(cè)生長反向PN結(jié)，并使反向PN結(jié)覆蓋兩個臺面的有源層的兩側(cè)；在反向PN結(jié)和兩個臺面的有源層上生長用于光限制的包層；在包層上生長用于電接觸的接觸層；對接觸層、包層、反向PN結(jié)和襯底進行刻蝕，以在兩個臺面的兩側(cè)形成隔離槽；制作電極以形成兩個激光器單元。本發(fā)明可提高激光器的良率，降低高激光器的制造成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光設(shè)備技術(shù)，尤其涉及一種激光器的制造方法。

背景技術(shù)

激光器是光纖通訊、數(shù)據(jù)傳輸?shù)年P(guān)鍵部件。

現(xiàn)有的激光器的制造方法中包括生長有源區(qū)、生長反向PN結(jié)、生長包層和接觸層等步驟。

由于現(xiàn)有的激光器的制造方法中，金屬有機化合物化學(xué)氣相沉淀生長次數(shù)多，因此激光器的良率較低，從而導(dǎo)致激光器制造成本的升高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種激光器的制造方法，以提高激光器的良率，降低高激光器的制造成本。

本發(fā)明提供一種激光器的制造方法，包括：

在襯底上生長有源層；

對所述有源層和襯底進行刻蝕，以形成凸出的且具有設(shè)定間隔距離的兩個臺面；

在兩個所述臺面的兩側(cè)生長反向PN結(jié)，并使所述反向PN結(jié)覆蓋兩個所述臺面的有源層的兩側(cè)；

在所述反向PN結(jié)和兩個所述臺面的所述有源層上生長用于光限制的包層；

在所述包層上生長用于電接觸的接觸層；

對所述接觸層、包層、反向PN結(jié)和襯底進行刻蝕，以在兩個所述臺面的兩側(cè)形成隔離槽；

制作電極以形成兩個激光器。

基于上述，本發(fā)明提供的激光器的制造方法，通過對非臺面區(qū)域的有源層和襯底進行刻蝕，以形成凸出的且具有設(shè)定間隔距離的兩個臺面，使兩個臺面包括有源層，并在兩個臺面的兩側(cè)生長反向PN結(jié)，并使反向PN結(jié)覆蓋兩個臺面的有源層的兩側(cè)，從而起到限制電流在有源區(qū)兩側(cè)通過的作用，在后續(xù)步驟中形成用于光限制的包層、用于電接觸的接觸層以及用于減小寄生電容和漏電的隔離槽并制作電極，從而能夠在一個激光芯片上形成兩個激光器單元，在選擇激光芯片時，可測試兩個激光器單元的性能并挑選性能占優(yōu)的激光器單元，由此利于提高激光器性能和良率，從而降低激光器的制造成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例一提供的一種激光器的制造方法的流程圖；

圖2為本發(fā)明實施例二提供的一種激光器的制造方法的流程圖；

圖3為本發(fā)明實施例三提供的一種激光器的制造方法的流程圖；

圖4-圖10為本發(fā)明實施例提供的一種激光器的制造方法各步驟的示意圖。

附圖標(biāo)記：

201：襯底； 202：有源層； 203：半絕緣保護膜；

204：臺面； 205：反向PN結(jié)； 206：包層；

207：接觸層； 208：隔離槽； 209：電極；

210：激光器單元； 211：焊點區(qū)； 212：絕緣層；

213：正極； 214：金線； 215：焊盤；

216：保護層。

具體實施方式