[發(fā)明專利]激光器的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610908774.3
• 申請(qǐng)日: 2016-10-18
• 公開（公告）號(hào): CN107959225B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方瑞禹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01S5/32
• 分類號(hào): H01S5/32
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 張洋;黃健

1.一種激光器的制造方法，其特征在于，包括：

在襯底上生長(zhǎng)有源層；

對(duì)所述有源層和襯底進(jìn)行刻蝕，以形成凸出的且具有設(shè)定間隔距離的兩個(gè)臺(tái)面；

在兩個(gè)所述臺(tái)面的兩側(cè)生長(zhǎng)反向PN結(jié)，并使所述反向PN結(jié)覆蓋兩個(gè)所述臺(tái)面的有源層的兩側(cè)；

在所述反向PN結(jié)和兩個(gè)所述臺(tái)面的所述有源層上生長(zhǎng)用于光限制的包層；

在所述包層上生長(zhǎng)用于電接觸的接觸層；

對(duì)所述接觸層、包層、反向PN結(jié)和襯底進(jìn)行刻蝕，以在兩個(gè)所述臺(tái)面的兩側(cè)形成隔離槽；所述隔離槽延伸至襯底內(nèi)；

制作電極以形成兩個(gè)激光器單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器的制造方法，其特征在于，在所述襯底上生長(zhǎng)所述有源層之后，還包括

在所述有源層上生長(zhǎng)保護(hù)層；

在所述保護(hù)層上表面淀積半絕緣保護(hù)膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器的制造方法，其特征在于，對(duì)所述有源層和襯底進(jìn)行刻蝕，以形成凸出的且具有設(shè)定間隔距離的兩個(gè)臺(tái)面包括：

對(duì)所述半絕緣保護(hù)膜、保護(hù)層、有源層和襯底進(jìn)行刻蝕，以形成凸出的且具有設(shè)定間隔距離的兩個(gè)臺(tái)面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器的制造方法，其特征在于，在兩個(gè)所述臺(tái)面的兩側(cè)生長(zhǎng)反向PN結(jié)，并使所述反向PN結(jié)覆蓋兩個(gè)所述臺(tái)面的有源層的兩側(cè)之后，還包括：

對(duì)兩個(gè)所述臺(tái)面的所述半絕緣保護(hù)膜進(jìn)行腐蝕，以去掉所述半絕緣保護(hù)膜并暴露所述保護(hù)層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光器的制造方法，其特征在于，在所述反向PN結(jié)和兩個(gè)所述臺(tái)面的有源層上生長(zhǎng)用于光限制的包層包括：

在所述反向PN結(jié)和兩個(gè)所述臺(tái)面的所述保護(hù)層上生長(zhǎng)用于光限制的包層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器的制造方法，其特征在于，在所述包層上生長(zhǎng)用于電接觸的接觸層包括：

在所述包層上生長(zhǎng)用于電接觸的接觸層，并在所述接觸層的兩端形成焊點(diǎn)區(qū)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光器的制造方法，其特征在于，對(duì)所述接觸層、包層、反向PN結(jié)和襯底進(jìn)行刻蝕，以在兩個(gè)所述臺(tái)面的兩側(cè)形成隔離槽包括：

對(duì)所述接觸層、包層、反向PN結(jié)和襯底進(jìn)行刻蝕，以在兩個(gè)所述臺(tái)面之間形成所述隔離槽，并在相鄰的所述臺(tái)面和焊點(diǎn)區(qū)之間形成所述隔離槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光器的制造方法，其特征在于，在對(duì)所述接觸層、包層、反向PN結(jié)和襯底進(jìn)行刻蝕，以在兩個(gè)所述臺(tái)面之間形成所述隔離槽，并在相鄰的所述臺(tái)面和焊點(diǎn)區(qū)之間形成所述隔離槽之后，還包括：

在所述焊點(diǎn)區(qū)的接觸層的上面形成絕緣層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光器的制造方法，其特征在于，所述制作電極以形成兩個(gè)激光器單元包括：

在兩個(gè)所述臺(tái)面的接觸層上連接所述電極的正極，將所述正極與金線的一端焊接，并將所述金線的另一端與焊點(diǎn)區(qū)焊接以形成焊盤；

在所述襯底的底面上淀積金屬制作電極的負(fù)極，從而形成兩個(gè)所述激光器單元。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器的制造方法，其特征在于，所述襯底的長(zhǎng)度大于或等于250微米且小于或等于300微米，所述襯底的寬度大于或等于200微米且小于或等于300微米。