[發(fā)明專利]制造集成電路的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610905339.5
• 申請日: 2016-10-18
• 公開（公告）號: CN106935584B
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝艮軒;賴志明;劉如淦;黃文俊;鄭文立;王派偉
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種制造集成電路的方法，其特征在于，包含：

提供該集成電路的一布局，該布局具有多個(gè)集成電路特征；

由該布局推導(dǎo)出一圖形，該圖形具有多個(gè)節(jié)點(diǎn)，所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)透過多個(gè)邊連接，其中所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)代表所述多個(gè)集成電路特征，而所述多個(gè)邊代表所述多個(gè)集成電路特征之間的間隙；

選擇至少二節(jié)點(diǎn)，其中被選擇的所述節(jié)點(diǎn)并未直接透過一邊連接，而被選擇的該至少二節(jié)點(diǎn)共用至少一相鄰節(jié)點(diǎn)，其中該至少一相鄰節(jié)點(diǎn)連接于N邊，其中N大于2；

合并被選擇的該至少二節(jié)點(diǎn)，借此將與該至少一相鄰節(jié)點(diǎn)連接的所述邊的一數(shù)量降低至N以下，其中該合并步驟的執(zhí)行是透過使用一計(jì)算機(jī)化的集成電路工具；

移除連接少于N邊的所述節(jié)點(diǎn)；

反復(fù)執(zhí)行該選擇步驟、該合并步驟，以及該移除步驟，直到該圖形中的所有所述節(jié)點(diǎn)全部被移除；

用至多N個(gè)顏色，涂色被移除的連接少于N邊的所述節(jié)點(diǎn)，其中各顏色對應(yīng)至用于光微影的一光罩層；以及

制造一組光罩，其中該組光罩中的各光罩分別對應(yīng)至所述多個(gè)集成電路特征所分割出的一子區(qū)域，所述多個(gè)集成電路特征所分割出的該子區(qū)域透過具有相同顏色的所述節(jié)點(diǎn)來表示。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造集成電路的方法，其特征在于，該合并步驟包含調(diào)整該布局，調(diào)整該布局是通過加入一虛擬指示器至該布局，該虛擬指示器指出被選擇的所述節(jié)點(diǎn)所表示的所述集成電路特征可指定至一同一光罩層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造集成電路的方法，其特征在于，該虛擬指示器為一輔助特征，配置于被調(diào)整的該布局以及被選擇的所述節(jié)點(diǎn)所表示的所述集成電路特征之間，且其中該輔助特征不顯示于一光罩上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造集成電路的方法，其特征在于，該虛擬指示器為一涂色標(biāo)記，該涂色標(biāo)記位于被調(diào)整的該布局的一參考層內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造集成電路的方法，其特征在于，該虛擬指示器包含一文字，該文字與被選擇的所述節(jié)點(diǎn)所表示的所述集成電路特征相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造集成電路的方法，其特征在于，移除連接少于N邊的所述節(jié)點(diǎn)的同時(shí)，亦移除與所述節(jié)點(diǎn)連接的所述邊。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造集成電路的方法，其特征在于，各個(gè)被選擇的所述節(jié)點(diǎn)透過N邊與其他所述節(jié)點(diǎn)連接。

8.一種制造集成電路的方法，其特征在于，包含：

提供該集成電路的一布局，該布局具有多個(gè)集成電路特征；以及

分割所述多個(gè)集成電路特征為N個(gè)子區(qū)域，使得N個(gè)子區(qū)域的每一者被分別指定至用于光微影制程的一光罩層，其中N大于2，且該分割步驟的執(zhí)行是透過使用一計(jì)算機(jī)化的集成電路工具，其中該分割步驟包含：

自該布局取得一圖形，該圖形具有多個(gè)節(jié)點(diǎn)，所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)透過多個(gè)邊連接，其中所述多個(gè)節(jié)點(diǎn)代表所述多個(gè)集成電路特征，而所述多個(gè)邊代表所述多個(gè)集成電路特征之間的間隙；

移除連接少于N邊的所述節(jié)點(diǎn)；

選擇至少二個(gè)節(jié)點(diǎn)，其中被選擇的所述節(jié)點(diǎn)并未直接透過一邊連接，且被選擇的所述節(jié)點(diǎn)共用至少一相鄰節(jié)點(diǎn)，其中該至少一相鄰節(jié)點(diǎn)連接于N邊；

合并被選擇的所述節(jié)點(diǎn)，借此將連接該至少一相鄰節(jié)點(diǎn)的所述邊的一數(shù)量降低至N以下；以及

反復(fù)執(zhí)行該移除步驟、該選擇步驟，以及該合并步驟直到該圖形中所述節(jié)點(diǎn)全部被移除。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造集成電路的方法，其特征在于，還包含：

用至多N個(gè)顏色，涂色被移除的連接少于N邊的所述節(jié)點(diǎn)，其中各顏色對應(yīng)至用于光微影的一光罩層。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造集成電路的方法，其特征在于，合并所述節(jié)點(diǎn)包含加入一虛擬指示器至該布局，該虛擬指示器指出所述節(jié)點(diǎn)所代表的所述集成電路特征可指定至一同一光罩層。